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INHALTE

Ausstattung

Molekularstrahlepitaxie (MBE)
Gerät: SSMBE-Anlage UMS 500 (Balzers AG)

Technische Daten

Augerelektronenspektroskopie (AES) 
Gerät: Augerelektronen Spektrometer Microlab 350

Technische Daten

Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD)

Gerät: AIX 200 (Aixtron AG)

Technische Daten

Plasmaätzanlage
Gerät: Multiplec ICP

Technische Daten

Elektronenstrahllithografie
Gerät: Raith 150

Technische Daten

Röntgen-Diffraktometer (HXRD)
Gerät: D8 DISCOVER Hochauflösungs-
Röntgen-Diffraktometer

Technische Daten

Rasterelektronenmikroskop
Gerät: GEMINI 500
Technische Daten

Desorptionsmessplatz
Gerät: Desorptionsmessplatz (Eigenbau)

Technische Daten

Ellipsometer
Gerät: Sentech SE 900 FT-IR Ellipsometer 

Technische Daten

Gerät: Sentech SE 801 in situ Spektralellipsometer

Technische Daten

Gerät: Sentech CER Ellipsometer ex situ Mehrwinkelellipsometer mit Weißlichtreflektometer

Technische Daten