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...beim Auflegen einer neuen Probe

Wer hier auf meine dienstliche Homepage guckt, möchte sicher wissen, wer ich bin und was ich mache.

Als erstes zu meinen wissenschaftlichen Arbeiten:
Ich bin wissenschaftlicher Mitarbeiter im Fachgebiet Nanotechnologie der TU Ilmenau. Mein Arbeitsgebiet ist vor allen Dingen die:
>> Augerelektronenspektroskopie
Mit diesem Thema befasse ich mich nun schon seit ca. 20 Jahren.

Anfang der 80er Jahre fing es damit an, dass ich während des Elektronik-Studiums zum Ingenieurpraktikum im damaligen "VEB Hochvakuum Dresden" ein interessantes Forschungsthema auf diesem Gebiet bekam: die Quantifizierung von Augermessungen am Titannitrid. Wieder zurück an der Uni befasste ich mich unter der Anleitung von Dr. Rößler mit der sputterinduzierten Rauhigkeit bei der Auger- Tiefenprofilierung polykristalliner Metallschichten. Das war vor allem deshalb interessant, weil die AES- Tiefenprofilierung an den Kontakt- und Leitbahnsystemen der Mikroelektronik oft unbefriedigende Ergebnisse brachte und an den Interfaces schwer interpretierbar war.

Mein Diplom schrieb ich 1983 zum Thema "Rechnergestützte Auswertung von Auger- Tiefenprofilen"- es beschäftigte sich vor allem mit der rauhigkeitsbedingten Verschmierung von Al-Schichten auf Si und deren quantitativer Beschreibung. An diesem Thema arbeitete ich weiter und promovierte mit dem Thema "Das Ionenstrahlsputtern in der Auger- Tiefenprofilierung" im Jahr 1986. Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Abhängigkeit der Auger-Tiefenauflösung von den Eigenschaften des Ionenstrahls (Energie, Ionenart) und denen des Targets. Für eine Vielzahl von Materialien wurden Sputterraten und sich entwickelnde rauhigkeitsbedingte Verschmierungsfunktionen bestimmt. Testfaltungen und eine Entfaltungsmethode wurden vorgelegt.

Neben der Arbeit für Dienstleistungen und der zum Erhalt und zur Weiterentwicklung des Augerelektronen- Spektrometers notwendigen Mühe beschäftigte ich mich mit der Quantifizierung von Auger- Messungen, mit präparativen Methoden (Rotation, Brechen von Proben, Probenheizung im UHV der Analyseapparatur) und in den letzten Jahren vor allem mit ionenbeschussbedingten Durchmischungsvorgängen. Das "atomic mixing" wurde und wird untersucht und durch Computersimulationen mit Monte-Carlo-Programmen begleitet. Der Schwerpunkt liegt auf den Halbleitermaterialien mit großer Bandlücke wie z.B. SiC, GaN, GaAlN und InN, aber auch andere Materialien sind Forschungsobjekte. Für dünnste Karbonisierungsschichten von SiC auf Si konnten durch Zusammenführung aller Einflüsse aus Rauhigkeit, atomic mixing und Austrittstiefe der Augerelektronen die Auger-Tiefenprofile quantitativ mit guter Übereinstimmung simuliert werden. Die momentanen Arbeiten konzentrieren sich weiter auf die Computersimulationen des atomic mixing und auf die Bestimmung der Dicke der mixing-Zone und deren Abhängigkeit von den Ionenbeschussparametern.

Für Dienstleistungen und für die Lehre beschäftige ich mich ferner mit PVD-Verfahren zur Schichtherstellung, mit Vakuumtechnik und Elektronik.

Für Studenten der Elektrotechnik und Informationstechnik halte ich die Vorlesungen in Vakuumtechnik und in Oberflächenanalytik, die jeweils mit einem Praktikum ergänzt werden.

Meine Hobbies:
Ich interessiere mich sehr für Natur, vor allem für Vögel, andere Tiere und auch für Pflanzen - damit verbunden für Wandern und Fahrradfahren. Ich bin kein Freund der fortschreitenden Betonierung der Landschaft, wie wir sie gerade jetzt um Ilmenau erleben können. Und ich mache gern Musik, Folklore oder Folk, wie man will. In der Gruppe >> "Feuertanz" singe ich, spiele Mandoline, Flöten, Dudelsack, Klarinette und anderes. Ich bastle gern, z.B. Schmuck aus Naturmaterialien, lese gern und es gibt noch viele andere Dinge, die mich interessieren.