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INHALTE

Sie befinden Sich im Kurs Archiv. Infos zu laufenden Veranstaltungen (SS2020) sind im Bereich “Vorlesungen und Praktika” erfasst. The following entries represent an archive

Vorlesungen und Praktika im normalen Lehrbetrieb ohne Corona Einschränkungen

Einführung in die Mikro- und Nanoelektronik/Teilgebiet Nanotechnologie

Die Einführungsvorlesung in die Mikro- und Nanoelektronik beschäftigt sich mit den wichtigsten Halbleitertechnologien, die nötig sind, um einen Drucksensor herstellen zu können. Es wird in das reine Prozessieren eingeleitet. Als Basistechnologien werden Lithografie, Oxidieren, Dotieren und Nasschemisches Ätzen behandelt. Dabei wird stets ein Bezug zum Drucksensor gesucht. Ziel der Vorlesung ist es, in die Begriffswelt der Halbleitertechnologie einzuführen, um ein Verständnis für Prozesse und deren Spezifikationen sowie Anforderungen zu vermitteln, welche zur Herstellung von Alltagsgegenständen wie dem Smartphone nötig sind. Die Studierenden lernen im Rahmen dieser Lehrveranstaltung auch praktisch den Reinraum des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien kennen. Die Vorlesung ist in einfacher Überblick. Vertiefende Inhalte werden ab dem 5. FS von unserem Fachgebiet angeboten.

Unterlagen

Fortgeschrittenenpraktikum Technische Physik

Wir beteiligen uns mit einem Versuch an diesem Praktikum 

Versuch:

1.Grundlagen der Augerelektronenspektroskopie

Grundlagen der Elektronik, F:100250 (Vorlesung und Seminar online) JACOBS/ECKE

Als Ausnahme! Video Vorlesung + Seminare werden aufgezeichnet und online zu Verfügung gestellt.
Das Skript beinhaltet Darstellungen und Gleichungen. Die mündliche Erläuterung und erklärende Zwischenschritte bzw. Ableitung des Tafelbildes ist in den Videoaufzeichnungen.

Hier Ihr persönlicher Zugang

Die Zugangsdaten und eine Anleitung sollten Sie erhalten haben. Falls nicht kontaktieren Sie uns über diesen Emailkonakt, auch falls sie einen zusätzlichen Einschreibeschlüssel brauchen.

Zum Start bitte zunächst die Einleitung und die Themenkomplexe 2,3,4 und 5 durcharbeiten!

Hinweis:    Praktikum Elektrotechnik und Elektronik, F:100275 (Turnus WS nicht SS, bei Fragen Prof. ZIEGLER/ZÖLLNER kontaktieren)

Unterlagen

Grundlagenpraktikum

Versuche:     

1.MHT 1 Ellipsometrie
2.MHT 2 Vakuumerzeugung
3.MHT 3 Vakuummessung

Mikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik

Fachnummer: 7524

Aufbauend auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Bauelemente“ werden weiterführende Techniken behandelt, die für die Realisierung von Bauelementen der Optoelektronik notwendig, welche auf lateral und vertikal strukturierte Gebiete im Nanometerbereich beruhen. In der Lehrveranstaltung werden ausgehend vom Design der Bauelemente die technologischen Verfahren für ihre Herstellung abgeleitet und im Einzelnen behandelt. Neben den deterministischen Strukturierungs- und Prozessierungsprinzipien werden Technologien vermittelt, die auf Selbstformierungs- und Selbstorganisationsprinzipien beruhen.

Die Studierenden vertiefen ihre Kenntnisse über die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und sind fähig technische und wirtschaftliche Aspekte zu beurteilen. Sie sind in der Lage Prozessabläufe für die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und Systeme zu analysieren und zu entwickeln. Sie sind fähig zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern

Inhalt der Vorlesung:

  1. Nanooptoelektronische Bauelemente
  2. Deterministische und selbstorganisierende Technologien
  3. Prinzipien der Selbstorganisation und Selbstformierung in technologischen Prozessen
  4. Nanolithographie
  5. Nanoätzen
  6. Nanoepitaxie
  7. Nanoionenimplantation

 

Genauere Informationen entnehmen Sie bitte der Modultafel.

Nanotechnologie

NanoScale Imaging; Patterning using Scanning Probes, Soft-Lithography, Stamping & Moldling; Nanomaterials - Properties, Synthesis, and Applications; NanoManufacturing/Component Integration using Engineered Self-Assembly and Nanotransfer. Labs on AFM, Microcontact Printing, Nanoparticles/Nanowire Synthesis.

 

Genauere Informationen entnehmen Sie bitte der Modultafel.

Unterlagen

Optoelektronik

Fachnummer: 1323

In dieser Vorlesung werden Bauelemente und Systeme der Optoelektronik dargestellt. Die Lehrveranstaltung hat das Ziel, den Studenten Kenntnisse der Funktionsweise moderner optoelektronischer Bauelemente zu vermitteln. Neben allgemeinen Grundlagen werden vorwiegend Probleme behandelt, die für die optische Nachrichtentechnik von Bedeutung sind: Lichtwellenleiter und lichtemittierende Bauelemente. Dabei stehen anwendungsbezogene und technologische Aspekte im Vordergrund, es wird auf neueste Arbeiten auf diesem Gebiet eingegangen. Der Schwerpunkt liegt dabei auf: (a) Vermittlung der physikalisches Wirkprinzipien der opto-elektronischer Bauelementen (Leucht- und Laserdioden), (b) Anwendung von Lösungsmethoden im analytischen und numerischen Bereich (Übungen).

Die Studenten und Studentinnen sollen in dieser Vorlesung die wichtigsten Bauelemente und Systeme der Optoelektronik kennenlernen und einen Überblick über zukünftige Entwicklungen und Trends erhalten.

Inhalt der Vorlesung:

  1. Halbleitermaterialien für die Optoelektronik
  2. Physikalische Grundlagen der Optoelektronik
  3. Wirkprinzip von Dioden und Heterodioden
  4. Lumineszenz-Dioden und ihre technische Realisierung
  5. Organische Lumineszenz-Dioden und ihre technische Realisierung
  6. Mechanismen der Inversionserzeugung in Festkörper-Laserdioden
  7. Die technischen Realisierungsformen der Festkörper-Laserdioden
  8. Optische Modulatoren
  9. Integrierte optoelektronische Systeme

 

Genauere Informationen entnehmen Sie bitte der Modultafel.

Ultrareines Prozessieren in der Halbleitertechnologie (2 SWS)

Fachnummer 71: (Ergänzungslehrgebiet)

Die Fertigung von mikro- und nanoelektronischen Bauelementen unter ultrareinen Bedingungen, wie sie ursprünglich für die Halbleitertechnologie entwickelt wurden, nimmt gesamtwirtschaftlich gesehen einen immer größeren Platz in der Elektrotechnik, dem Maschinenbau und in der Medizintechnik ein. In der Vorlesungsreihe "ultrareines Prozessieren" werden die physikalischen und chemischen Grundlagen für das Entstehen und die Entfernung von Verunreinigungen, wie Partikeln, organischen und chemischen Kontaminationen, behandelt. Besonderen Raum nehmen die technischen und technologischen Tricks ein, die beim Prozessieren kleinster Strukturen verwendet werden. Sie erstrecken sich von materialtechnischen Wechselwirkungen über die eingesetzten Anlagen- bis hin zur Gebäudetechnik. Im Rahmen der Vorlesung kann eine Besichtigung des Zentrums für Mikro- und Nanotechnologien der TU Ilmenau angeboten werden, in deren Verlauf ausgewählte Experimente und Anlagen für ultrareine Prozesse vorgestellt werden.

Voraussetzungen:
Grundkenntnisse in Physik, Chemie und den Wirkprinzipien von elektronischen Bauelementen und integrierten Schaltkreisen, Halbleitertechnologie

Inhalt der Vorlesung:

  1. Einführung: Arten von Verunreinigungen und deren Einfluss auf die Bauelementeeigenschaften
  2. Die historische Entwicklung, grundlegende Konzepte und die Hierarchie des ultrareinen Prozessierens in der Halbleitertechnologie
  3. Quellen von Verunreinigungen
  4. Physikalische Grundlagen gastragender partikulärer Kontamination
  5. Partikuläre Kontamination in technologischen Prozessen
  6. Luftgetragene molekulare Verunreinigungen (Airborn Molecular Contamination – AMC)
  7. Reinraumtechnische Schutzkonzepte und Luftfiltration
  8. Reinraumanlagen für die Mikroelektronik: Gebäude und Reinraumkonzepte, Umluftsysteme, Außenluftversorgung und Prozessluftversorgung
  9. Ver- und Endsorgung von Reinstmedien: Wasser, Prozesschemikalien, Prozessgase
  10. Waferreinigung
  11. Technologische Konzepte des ultrasauberen Prozessierens in der Halbleitertechnologie
  12. Gettern
  13. Detektion von Oberflächenverunreinigungen
  14. Entwicklungstrends