Nano Metrology - Modultafeln of TU Ilmenau
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| subject properties subject number 7424 - common information | |
|---|---|
| subject number | 7424 |
| department | Department of Mechanical Engineering |
| ID of group | 2371 (Production and Precision Measurement Technology) |
| subject leader | Prof. Dr. Eberhard Manske |
| language | Deutsch |
| term | Sommersemester |
| previous knowledge and experience | Bachelor Technik (GIG) Mess- und Sensortechnik 2V/1S/1P |
| learning outcome | Die Studierenden überblicken das Gebiet der dimensionellen Messungen im Nanometerbereich hinsichtlich Aufbau, Funktion und Eigenschaften der Geräte und Verfahren sowie der aktuellen Messmöglichkeiten und der Sicherung einheitlicher Messungen in diesem Bereich der Messtechnik auf nationaler und internationaler Ebene. Mit der Lehrveranstaltung erwerben die Studierenden zu etwa 60% Fachkompetenz. Die verbleibenden 40% verteilen sich mit variierenden Anteilen auf Methoden-, System- und Sozialkompetenz. Sozialkompetenz erwächst aus praktischen Beispielen in der Vorlesung zur Gesamtproblematik Nanomesstechnik. |
| content | Nanotechnologie / Nanomesstechnik heute und morgen: Wissenschaftlicher Hintergrund und ausgewählte Beispiele zur Nanotechnologie Techniken für dimensionelle und andere Messungen im Nanometerbereich Rastertunnelmikroskopie und aus ihr abgeleitete Rastersondenmikroskopie / Konsistenz von Ergebnissen aus aktuellen Maßvergleichen / gegenwärtige Erschließung von 3D-Messungen an Objekten der Mikrotechnik / Mikro-Tomographie. Rasterelektronenmikroskopie / ausgewählte Anwendungen für dimensionelle Messungen /„metrologische Rasterelektronenmikroskope“ Röntgenreflektometrie /Anwendungen auf Schichten im Nanometerbereich |
| media of instruction | *.ppt-Präsentation Lehrender stellt Präsentation elektronisch zur Verfügung (z.B. CD) |
| literature / references | Literatur wird während der Vorlesung genannt / die Präsentation enthält Quellennachweise tm - Technisches Messen Vol. 76, No. 5, 05/2009 International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Part 1: Nanomeasuring and Nanopositioning Technology Nanoscale Calibration, Standards and Methods - Dimensional and Related Measurements in the Micro- and Nanometer Range; Wiley-VHC Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, Edition: Wilkening, Günter; Koenders, Ludger; 2005 ISBN 3-527-40502-X K. Hasche, W. Mirande, G. Wilkening (Eds.)2001PTB-F-39: Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy QM 2000 Wirtschaftsverlag NW ISBN 3-89701-503-X |
| evaluation of teaching | Pflichtevaluation: Freiwillige Evaluation: Hospitation: |
| Details in major Master Wirtschaftsingenieurwesen 2013 (MB), Master Mechatronik 2014, Master Wirtschaftsingenieurwesen 2014 (MB), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2015 (MB), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2018 (MB) | |
|---|---|
| subject name | Nano Metrology |
| examination number | 2300192 |
| credit points | 2 |
| on-campus program (h) | 11 |
| self-study (h) | 49 |
| Obligation | obligatory elective |
| exam | written examination performance, 45 minutes |
| details of the certificate | |
| maximum number of participants | |
| Details in major Master Mechatronik 2008, Master Maschinenbau 2009, Master Maschinenbau 2011, Master Maschinenbau 2014, Master Maschinenbau 2017 | |
|---|---|
| subject name | Nano Metrology |
| examination number | 2300192 |
| credit points | 2 |
| on-campus program (h) | 11 |
| self-study (h) | 49 |
| Obligation | obligatory |
| exam | written examination performance, 45 minutes |
| details of the certificate | |
| maximum number of participants | |