Nano Metrology - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 7424 - common information
subject number	7424
department	Department of Mechanical Engineering
ID of group	2371 (Production and Precision Measurement Technology)
subject leader	Prof. Dr. Eberhard Manske
language	Deutsch
term	Sommersemester
previous knowledge and experience	Bachelor Technik (GIG) Mess- und Sensortechnik 2V/1S/1P
learning outcome	Die Studierenden überblicken das Gebiet der dimensionellen Messungen im Nanometerbereich hinsichtlich Aufbau, Funktion und Eigenschaften der Geräte und Verfahren sowie der aktuellen Messmöglichkeiten und der Sicherung einheitlicher Messungen in diesem Bereich der Messtechnik auf nationaler und internationaler Ebene. Mit der Lehrveranstaltung erwerben die Studierenden zu etwa 60% Fachkompetenz. Die verbleibenden 40% verteilen sich mit variierenden Anteilen auf Methoden-, System- und Sozialkompetenz. Sozialkompetenz erwächst aus praktischen Beispielen in der Vorlesung zur Gesamtproblematik Nanomesstechnik.
content	Nanotechnologie / Nanomesstechnik heute und morgen: Wissenschaftlicher Hintergrund und ausgewählte Beispiele zur Nanotechnologie Techniken für dimensionelle und andere Messungen im Nanometerbereich Rastertunnelmikroskopie und aus ihr abgeleitete Rastersondenmikroskopie / Konsistenz von Ergebnissen aus aktuellen Maßvergleichen / gegenwärtige Erschließung von 3D-Messungen an Objekten der Mikrotechnik / Mikro-Tomographie. Rasterelektronenmikroskopie / ausgewählte Anwendungen für dimensionelle Messungen /„metrologische Rasterelektronenmikroskope“ Röntgenreflektometrie /Anwendungen auf Schichten im Nanometerbereich
media of instruction	*.ppt-Präsentation Lehrender stellt Präsentation elektronisch zur Verfügung (z.B. CD)
literature / references	Literatur wird während der Vorlesung genannt / die Präsentation enthält Quellennachweise tm - Technisches Messen Vol. 76, No. 5, 05/2009 International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Part 1: Nanomeasuring and Nanopositioning Technology Nanoscale Calibration, Standards and Methods - Dimensional and Related Measurements in the Micro- and Nanometer Range; Wiley-VHC Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim, Edition: Wilkening, Günter; Koenders, Ludger; 2005 ISBN 3-527-40502-X K. Hasche, W. Mirande, G. Wilkening (Eds.)2001PTB-F-39: Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy QM 2000 Wirtschaftsverlag NW ISBN 3-89701-503-X
evaluation of teaching	Pflichtevaluation: Freiwillige Evaluation: Hospitation:

Details in major Master Wirtschaftsingenieurwesen 2013 (MB), Master Mechatronik 2014, Master Wirtschaftsingenieurwesen 2014 (MB), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2015 (MB), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2018 (MB)
subject name	Nano Metrology
examination number	2300192
credit points	2
on-campus program (h)	11
self-study (h)	49
Obligation	obligatory elective
exam	written examination performance, 45 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations	Pflichtevaluation: Freiwillige Evaluation: Hospitation:
maximum number of participants

Details in major Master Mechatronik 2008, Master Maschinenbau 2009, Master Maschinenbau 2011, Master Maschinenbau 2014, Master Maschinenbau 2017
subject name	Nano Metrology
examination number	2300192
credit points	2
on-campus program (h)	11
self-study (h)	49
Obligation	obligatory
exam	written examination performance, 45 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations	Pflichtevaluation: Freiwillige Evaluation: Hospitation:
maximum number of participants