Technische Universität Ilmenau

Micro/Nanofabrication Laboratory - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 101728 - allgemeine Informationen
Fachnummer101728
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2142 (Nanotechnologie)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Heiko Jacobs
SpracheEnglish (Deutsch)
TurnusSommersemester
Vorkenntnisse

Physics, Chemistry, Materials, and Electronics at the Bachelor level

Lernergebnisse

The participant obtains hands-on experience in the fabrication of micro and nanotechnological devices.
The majority of the experiments will be carried out within am educational laboratory setting which houses the required equipment.
The student get familiar with the equipment and the process flow commonly used in the fabrication of micro and nanotechnological devices.
Learning Goals:
The participant gains basic skills on the technological steps used in the manufacturing of modern micro/nanofabricated devices which integrate electronic and sensing elements in a small form factor integrated system.
The participant gets to know the equipment, measuring techniques, and principles of operation.
The lab-course mimics the main steps of semiconductor processing as it is used in the industry today and provide an important link to the theory which was provided in the lectures.
The lab-course provides an entry to the fabrication and processing of modern semiconductor devices which includes the fields of MEMS, NEMS, Sensors, Electronics, Photovoltaics, Bioelectronics, Nanoelectronics to name the most relevant today.

Inhalt

Lab course on selected problems:
You will apply the technology to fabricate a micro mechanical pressure sensor based on a Si membrane integrated on a Si - chip.
You will study the influence of technological processing parameters on device properties.
The processing you will carry out includes: Wafer cleaning, Thermal Oxidation, Sputtering and Evaporation, Dry Etching, Spin Coating, and Electrical contact formation
Characterisation methods include: Optical Microscopy, Ellipsometric measurements, and Electrical characterisation/probe station.
You will also get a brief introduction to the operation of vacuum pumps and vacuum measurement equipment commonly used in the industry.

Medienformen

Lab course instruction manual

Literatur

Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. – 3., vollst. überarb. und erw. Aufl. –Weinheim: Wiley-VCH, 2005

Lehrevaluation
Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2016
FachnameMicro/Nanofabrication Laboratory
Prüfungsnummer2100558
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)68
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Studienleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss

lab attestations and lab reports

max. Teilnehmerzahl25

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.