Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanosensorik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 1455 - allgemeine Informationen
Fachnummer1455
Fakultät
Fachgebietsnummer2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
Spracheenglisch
TurnusSommersemester
Vorkenntnisse

Mathematics, Physics, Electrical Engineering, Electronics

Lernergebnisse

Learn and understand basic processes for acquiring non-electrical quantities, the construction and function of key sensors and their technology

Inhalt
  • Introduction to sensor technology: transducer principles, sensor materials, manufacturing process;
  • Inertial sensors: acceleration sensors, gyroscopes;
  • Mechanical Sensors: Strain Gages, Piezoresistive Sensors;
  • Magnetic sensors: Hall effect sensors, anisotropic magnetoresistive sensors, giant magnetoresistive based sensors;
  • Temperature sensors: thermistors, thermocouples;
  • Infrared sensors: photon detectors, thermal sensors and arrays;
  • Atomic force microscopy sensors
Medienformen

Overhead projector, beamer, blackboard

Literatur

Veikko Lindroos, Markku Tilli, Ari Lehto, Teruaki Motooka: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; William Andrew (2010)

Julien W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim: Microsensors MEMS and Smart Devices; Wiley (2001)

Kempe,Volker: Inertial MEMS: principles and practice; Cambridge University Press (2011)

Antonio Rogalski: Infrared Detectors; Taylor & Francis (2010)

Ricardo García: Amplitude Modulation Atomic Force Microscopy; Wiley-VCH (2010)

Ulrich Hilleringmann: Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik; Springer (2019). Springer 1998 

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Wirtschaftsingenieurwesen 2013 (ET), Master Micro- and Nanotechnologies 2013, Master Wirtschaftsingenieurwesen 2014 (ET), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2015 (ET), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2018 (ET)
FachnameMikro- und Nanosensorik
Prüfungsnummer2100050
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2016
FachnameMicro and nano sensor technology
Prüfungsnummer2100566
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2008, Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
FachnameMikro- und Nanosensorik
Prüfungsnummer2100050
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009, Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009 (ET), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2010 (ET), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2010, Master Wirtschaftsingenieurwesen 2011 (ET)
FachnameMikro- und Nanosensorik
Prüfungsnummer2100050
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.