Technische Universität Ilmenau

Technologie optoelektronischer Bauelemente - Modultafeln der TU Ilmenau

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Fachinformationen zu Fachnummer 1615 - allgemeine Informationen
Fachnummer1615
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2142 (Nanotechnologie)
Fachverantwortliche(r) Dr. Jörg Pezoldt
SpracheDeutsch
TurnusSommersemester
Vorkenntnisse

Die Vorlesung baut auf dem Modul Physik des gemeinsamen ingenieurwissenschaftlichen Grundlagenstudiums und auf Grundkenntnissen der physikalischen Optik und der Werkstoffwissenschaften auf.

Lernergebnisse

Im diesem Fach werden grundlegende Verfahren und Verfahrensschritte der Technologie optoelektronischer Bauelementen und deren Integrationstechniken auf der Basis der Technologie von Verbindungshalbleiter und der Siliziumtechnologie vermittelt. Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der Herstellung optoelektronischer Bauelemente und sind fähig technische und wirtschaftliche Aspekte zu beurteilen. Sie sind in der Lage, die Integrationstechniken optoelektronischer Bauelemente auf der Basis der Siliziumtechnologie zu analysieren. Die Studierenden sind fähig prinzipielle Lösungen für die technologischen Prozesse zur Herstellung von emittierenden Bauelementen zu entwerfen. Ebenso sind Sie in der Lage die technologischen Prozesse zur Herstellung von Fotodetektoren zu bewerten. Sie sind fähig zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern.

Inhalt

1. Kristalle und ihre Eigenschaften 2. Mischkristalle 3. Heterostrukturen 4. Einkristallzucht von elementaren und Verbindungshalbleitern 5. Epitaxie und Heteroepitaxie 6. Dotierung 7. Metallisierung 8. Fotolithografie 9. Ätzen 10. Herstellung von Leuchtdioden und Lasern 11. Herstellung von Fotodetektoren 12. Herstellung von Spiegeln und Wellenleitern 13. Systemintegration

Medienformen

Overhead-Folien und Tafel

Literatur

1. J. Singh: Semiconductor optoelectronics: physics and technology, McGraw-Hill,1995. 2. H. Zimmermann: Silicon optoelectronic integrated circuits, Springer, 2004, 352 S. 3. K.-J. Ebeling: Integrierte Optoelektronik: Wellenleiteroptik, Photonik, Halbleiter, Springer, 1992.

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2019 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Bachelor Optische Systemtechnik/Optronik 2013
FachnameTechnologie optoelektronischer Bauelemente
Prüfungsnummer2100469
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)68
VerpflichtungPflicht
Abschluss Studienleistung
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL

Pflichtevaluation:


SS 2019 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:

max. Teilnehmerzahl

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