Technische Universität Ilmenau

Electrochemical micro plating - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 5474 - common information
subject number5474
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2175 (Electrochemistry and Electroplating Group)
subject leaderProf. Dr. Andreas Bund
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceChemie, Elektrochemie
learning outcome- Die Studierenden sind in der Lage, die Eigenschaften der beschichteten Werkstoffe zu bestimmen und die geeigneten Messverfahren zielführend anzuwenden.
- Die Studierenden kennen die Mess- und Prüfverfahren und sind in der Lage, die Ergebnisse zu bewerten und zu vergleichen.
- Die Studierenden können Mess- und Prüfverfahren in den technologischen Prozess einordnen und die Qualitätssicherung garantieren.
content- Beschichtungstechnologien
- Vorbehandlung Substrate
- Resiste - Eigenschaften und Anwendung
- Strukturierung der Resiste
- Galvanoformung in den Mikrostrukturen
- Aufbau- und Verbindungstechnologien
- Nachbehandlung der gefüllten Resiste
- Ablösen der Resiste
- Qualitätskontrolle, Messtechnik
media of instructionSkripte, Folien, Tafel
literature / referencesJ. Frühauf; "Werkstoffe der Mikrotechnik"; Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag; 2005
B. Heimann, W. Gerth, K. Popp; "Mechatronik - Komponenten, Methoden, Beispiele"; Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag, 1998
B. Elsner; "Integration von Sensoren mittels additiver Mikrogalvanik"; Shaker Verlag Aachen, 2000
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Master Werkstoffwissenschaft 2010
ATTENTION: not offered anymore
subject nameElectrochemical micro plating
examination number2100330
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

maximum number of participants
Details in major Master Werkstoffwissenschaft 2011
ATTENTION: not offered anymore
subject nameElectrochemical micro plating
examination number2100330
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

maximum number of participants