Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanosystemtechnik 1 - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 5962 - allgemeine Informationen
Fachnummer5962
Fakultät
Fachgebietsnummer2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseBachelor-Abschluß (Ingenieur- oder Naturwissenschaften)
LernergebnisseDie Studierenden sind fähig Mikro- und Nanosysteme zu entwickeln, charakterisieren und optimieren. Sie besitzen die Fachkompetenz Mikro- und Nanosysteme durch lithografische Verfahren zu erstellen oder selbstorganisierte Prozesse zu deren Realisierung einzusetzen.
InhaltDas Lehrgebiet im beinhaltet folgende
Schwerpunkte:
- Design von kleinsten Systemen
- Lithographische Verfahren
- Ätztechnologien
- Metallisierungen
- Systemintegration
MedienformenVorlesungen, Folien, Beamer
LiteraturFoundations of Nanomechanics, A. Cleland, Springer, (2003)
Device Electronics for ICs, R.Muller & T. Kamins, John Wiley & Sons, Inc. (1997)
Advanced Microsystems, I.W.Rangelow ed, FSRM, (2000)
Integrated Micro-Motion Systems, F.Harashima, Elsevier, (1990)
Fundamentals of Microfabrication, M. Madow, CRN Press, 2002
AIP Handbook of Modern Sensors, J. Fraden, American Institute of Physics, (1999
Mesoscopic Electronics in Solid State Nanostructures, T. Heinzel, Wiley-VCH, Weinheim (2003)
Physics of Nanostructures, J.H. Davies and A.R. Long eds., Institute of Physics Publishing, Bristol (1992)
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameMikro- und Nanosystemtechnik 1
Prüfungsnummer2100188
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.