Technische Universität Ilmenau

Thin Films Technology and Thin Film Analysis - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 6701 - common information
subject number6701
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2172 (Group of Materials for Electrical Engineering and Electronics)
subject leaderProf. Dr. Peter Schaaf
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceModule Werkstoffwissenschaft 1-2
learning outcomeDie Studierenden sind in der Lage, Schichtdickenmessverfahren und Verfahren für Zustandsparamter zu erklären und für neue Anwendungen zu synthetisieren.
Das Fach vermittelt Fach-, Methoden- und Systemkompetenz.
content1. Schichtdickenmessverfahren
1.1. Begriffsbestimmungen "Schicht" und "Schichtdicke"
1.2. Massebestimmung
1.3. Optische Verfahren
1.4. Elektrische Verfahren
1.5. Magnetische Verfahren
1.6. Pneumatische Verfahren
1.7. Radiometrische Verfahren
1.8. Thermische Verfahren
2. Messverfahren für innere mechanische Spannungen
2.1. Mechanische Verfahren
2.2. Akustische Verfahren
2.3. Optische Prüfverfahren
2.4. Röntgen- und Elektronenbeugungsverfahren
2.5. Dehnmessstreifen
3. Rauheitsmessungen
3.1. Optische Verfahren
3.2. Mechanische Verfahren
3.3. Pneumatische Verfahren
4. Haftfestigkeitsprüfverfahren
4.1. Technologische Prüfverfahren
4.2. Mechanische Messverfahren
4.3. Zerstörungsfreie Prüfverfahren
5. Glanzbestimmung
6. Härtemessung an Schichten
6.1. Eindringkörpermethoden
6.2. Ritzhärteprüfmethoden
6.3. Zerstörungsfreie Härteprüfverfahren
7. Porositätsbestimmung
7.1. Chemische und elektrochemische Verfahren
7.2. Physikalische Verfahren
8. Dichtebestimmung
8.1. Begriffsbestimmung
8.2. Messverfahren
9. Temperaturmessung
9.1 Temperaturskalen
9.2. Berührungsthermometer
9.3. Strahlungsthermometer
9.4. Probleme der Temperaturbestimmung
10. Druckmessung
media of instructionVorlesungsskript
Tafel / Whiteboard
Computer Demo
literature / references- Nitzsche, H.: Schichtmeßtechnik, Würzburg: Vogel, 1997
- Herrmann, D.: Schichtdickenmessung, München, Wien: Oldenbourg, 1993
- Moderne Beschichtungsverfahren .- 2. neubearb. Aufl. (Herausg. H.-D. Steffens, J. Wilden). Oberursel: DGM Informationsgesellschaft, 1996
- Werkstoffprüfung (Herausg.: H. Blumenauer), 6. Aufl. Stuttgart: Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, 1994
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Bachelor Werkstoffwissenschaft 2009, Bachelor Werkstoffwissenschaft 2011
subject nameThin Films Technology and Thin Film Analysis
examination number2100274
credit points2
on-campus program (h)22
self-study (h)38
Obligationobligatory elective
examwritten pass-fail certificate, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

maximum number of participants