Technische Universität Ilmenau

Vakuum-Plasmatechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 6707 - allgemeine Informationen
Fachnummer6707
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2173 (Plasma- und Oberflächentechnik)
Fachverantwortliche(r) Dr. Birger Dzur
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseGrundlagen der Werkstoffwissenschaft 1-4
LernergebnisseDie Studierenden kennen die Besonderheiten von nichtthermischen Gasentladungen im Vakuum, Möglichkeiten der Generierung derartiger Plasmen und ausgewählte Verfahren der Nierdertemperatur-Plasmatechnik, insbesondere der Dünnschichttechnik.
Sie sind in der Lage, die Anwendbarkeit dieser Verfahren auf eine gegebene Aufgabenstellung zu beurteilen bzw. geeignete technologische Konzepte auszuwählen.
InhaltVakuumerzeugung und Messung
Besonderheiten von Gasentladungen im Niederdruck
Niederdruckentladungen
Glimmentladung
kapazitiv/induktiv gekoppelte HF-Entladungen
Mikrowellenentladungen
Anwendungen der Glimmentladung
Plasmadiffusionsverfahren
PA-PVD und -CVD
Beleuchtungstechnik
Anwendungen von HF- und μW-Plasmen
Sputtern, Ätzen, Beschichten
Dielektrisch behinderte Entladungen (Barriereentladungen)
Oberflächenmodifikation
Ozonerzeugung
Kopierer und Laserdrucker
Plasma-TV-Technologie
Ionenstrahlverfahren
Erzeugung und Wirkung auf Oberflächen
Aktivieren, Sputtern, Beschichten, Implantieren
Satellitentriebwerke
MedienformenVorlesungsskript Tafel / Whiteboard
Folien Computer Demo
Literatur- Hippler et al: Low Temperature Plasma Physics-Fundamental Aspects and Applications; Wiley VCH Verlag, 2001
- Frey: Dünnschichttechnologie; VDI-Verlag Düsseldorf, 1987
- Dresvin et al: Physics and Technology of Low-Temperature Plasmas; Iowa State University Press/AMES, 1977
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Bachelor Werkstoffwissenschaft 2009, Bachelor Werkstoffwissenschaft 2011
FachnameVakuum-Plasmatechnik
Prüfungsnummer2100271
Leistungspunkte2
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)38
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussalternative Studienleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alt. Leistungen

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

max. Teilnehmerzahl

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