Technische Universität Ilmenau

Rastersonden- und Elektronenmikroskopie - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 6923 - allgemeine Informationen
Fachnummer6923
Fakultät
Fachgebietsnummer2172 (Werkstoffe der Elektrotechnik)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Peter Schaaf
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnissePhysik, Elektrotechnik, Werkstoffzustände und Werkstoffanalyse
Lernergebnisse- Die Studierenden sind in der Lage die
grundlegenden Zusammenhänge zwischen der
Rastersondenmikroskopie und der
Elektronenmikroskopie, der benötigten
Gerätekonfigurationen und der Möglichkeiten der
Bildentstehung
Inhalt1. Rastersondenmikroskopie:
Aufbau und Arbeitsweise Rastertunnelmikroskop,
Aufbau und Arbeitsweise Rasterkraftmikroskop
2. Reglerprinzipien im Rastersondenmikroskop
3. Abbildung der Oberflächentopographie mit dem
Rastertunnelmikroskop
- Abbildungsprinzipien für atomare Auflösungen,
- Fourieranalyse zur Sichtbarmachung periodischer Strukturen
4. Abbildung der Oberflächentopographie mit dem
Rasterkraftmikroskop,
- internal Sensorbild
- Topographieabbildung
- Lateralforceabbildung
- Kraft-Eindringkurven
5. Elektronenmikroskopie:
- Erzeugung hoch fokussierter
Elektronenstrahlen (Kathoden, Linsen), Detektoren,
- Wechselwirkungskette (Sekundär, Rückstreuelektronen, Augerelektronen …),
6. Transmisionselektronenmikroskopie
- Bildaufbau im Elektronenmikroskop bei Durchstrahlung
- Hellfeld- und Dunkelfeldaufnahmen
- Beugung im Transmissionsmode
- Höchstauflösung als Beugung
- Konvergente Beugung
- Fourieranalyse zur Analyse Atomabastände und reziproke Gitterabbildung
7. Umweltmikroskopie (ESEM)
8. Analytische Elektronenmikroskopie
- Elektronenstrahl induzierte Röntgenstrahlung
- Detektionsmöglichkeiten (EDX, WDX)
- Detektoraufbau
- qualitative und quantitative EDX
- Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS)
- Rückstreubeugung (EBSD)
9. Zusammenfassung
- Vergleich der Verfahren bezüglich Auflösung,
Quantifizierbarkeit, Kosten, Probenanforderung
MedienformenVorlesungsskript
Tafel / Whiteboard
Folien
Literatur- Hunger, H.J.: Werkstoffanalytische Verfahren:
eine Auswahl; 1. Auflage, Deutscher Verlag für
Grundstoffindustrie 1995
- Reimer, l.: Scanning Electron Microscopy; 2.
Auflage, Springer Verlag 2008
- Reimer, L; Pfefferkorn, G.: Raster-
Elektronenmikroskopie; 2. Auflage, Springer Verlag 1977
- Schmidt, P. F.: Praxis der Rasterelektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse, expert-Verlag 1994
- Slayter, E.: Light and electron microscopy,
Cambridge Univ. Press 1992
- Schäfer; Terlecki: Halbleiterprüfung, Hüthig-
Verlag 1986
- Eggert, F.: Standardfreie Elektronenstrahl-Mikroanalyse (mit dem EDX im Rasterelektronenmikroskop): Ein Handbuch für die Praxis (Taschenbuch); Books on Demand Gmbh; Auflage: 1 (Februar 2005); ISBN: 978-3833425998
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2010
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameRastersonden- und Elektronenmikroskopie
Prüfungsnummer2100328
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2011
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameRastersonden- und Elektronenmikroskopie
Prüfungsnummer2100328
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.