Technische Universität Ilmenau

Vakuumtechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 100267 - allgemeine Informationen
Fachnummer100267
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2142 (Nanotechnologie)
Fachverantwortliche(r) Dr. Gernot Ecke
SpracheDeutsch
TurnusSommersemester
Vorkenntnisse

Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik

Lernergebnisse

Mit der Vakuumtechnik wird der Ingenieur in vielen Einsatzbereichen konfrontiert. Für viele technologische Prozesse und analytischeVerfahren ist die Vakuumtechnik unverzichtbar. Insbesondere für technologische Verfahren der Mikro- und Nanotelektronik gewinnen die Vakuumverfahren zunehmend an Bedeutung. Die Kenntnis der physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung befähigt den Zuhörer, im späteren Einsatz vakuumtechnische Fragestellungen effizient zu bearbeiten. Die Vorlesung vermittelt Inhalte über alle Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum und lehrt unter anderem den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen. Die Vorlesung wird durch ein Seminar zur Vakuumtechnik ergänzt.

Inhalt
  1. Physikalische Grundlagen der Vakuumtechnik
  2. Vakuumerzeugung
  3. Vakuummessung
  4. Vakuumbauelemente
  5. Konstruktion und Materialien der Vakuumtechnik
Medienformen

Vorlesung mit Tafelbild, Tageslichtprojektor und Beamer

Literatur

M. Wutz, H. Adam, W. Walcher

Theorie und Praxis der Vakuumtechnik

4. Auflage

Vieweg & Sohn Braunschweig/Wiesbaden 1988

Ch. Edelmann

Wissensspeicher Vakuumtechnik

Fachbuchverlag Leipzig 1985

J.M. Lafferty

Foundations of Vacuum Science and Technology

John Wiley, New York, Chinchester, Weinheim, 1998

Lehrevaluation
Spezifik im Studiengang Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
FachnameVakuumtechnik
Prüfungsnummer2100416
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2013
FachnameVakuumtechnik
Prüfungsnummer2100416
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.