Technische Universit├Ąt Ilmenau

Vakuumtechnik - Modultafeln of TU Ilmenau

The Modultafeln have a pure informational character. The legally binding information can be found in the corresponding Studienplan and Modulhandbuch, which are served on the pages of the course offers. Please also pay attention to this legal advice (german only). Information on place and time of the actual lectures is served in the Vorlesungsverzeichnis.

subject properties subject number 100267 - common information
subject number100267
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2142 (Nanotechnology Group)
subject leader Dr. Gernot Ecke
languageDeutsch
term Sommersemester
previous knowledge and experience

Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik

learning outcome

Mit der Vakuumtechnik wird der Ingenieur in vielen Einsatzbereichen konfrontiert. Für viele technologische Prozesse und analytischeVerfahren ist die Vakuumtechnik unverzichtbar. Insbesondere für technologische Verfahren der Mikro- und Nanotelektronik gewinnen die Vakuumverfahren zunehmend an Bedeutung. Die Kenntnis der physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung befähigt den Zuhörer, im späteren Einsatz vakuumtechnische Fragestellungen effizient zu bearbeiten. Die Vorlesung vermittelt Inhalte über alle Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum und lehrt unter anderem den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen. Die Vorlesung wird durch ein Seminar zur Vakuumtechnik ergänzt.

content
  1. Physikalische Grundlagen der Vakuumtechnik
  2. Vakuumerzeugung
  3. Vakuummessung
  4. Vakuumbauelemente
  5. Konstruktion und Materialien der Vakuumtechnik
media of instruction

Vorlesung mit Tafelbild, Tageslichtprojektor und Beamer

literature / references

M. Wutz, H. Adam, W. Walcher

Theorie und Praxis der Vakuumtechnik

4. Auflage

Vieweg & Sohn Braunschweig/Wiesbaden 1988

Ch. Edelmann

Wissensspeicher Vakuumtechnik

Fachbuchverlag Leipzig 1985

J.M. Lafferty

Foundations of Vacuum Science and Technology

John Wiley, New York, Chinchester, Weinheim, 1998

evaluation of teaching
Details in major Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
subject nameVakuumtechnik
examination number2100416
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
Obligationobligatory
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in major Master Werkstoffwissenschaft 2013
subject nameVakuumtechnik
examination number2100416
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
Obligationobligatory elective
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants