Technische Universit├Ąt Ilmenau

vacuum technology - Modultafeln of TU Ilmenau

The Modultafeln have a pure informational character. The legally binding information can be found in the corresponding Studienplan and Modulhandbuch, which are served on the pages of the course offers. Please also pay attention to this legal advice (german only). Information on place and time of the actual lectures is served in the Vorlesungsverzeichnis.

module properties 100643 - common information
module number100643
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2142 (Nanotechnology Group)
module leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
requirements

Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik

learning outcome

Mit der Vakuumtechnik wird der Ingenieur in vielen Einsatzbereichen konfrontiert. Für viele technologische Prozesse und analytischeVerfahren ist die Vakuumtechnik unverzichtbar. Insbesondere für technologische Verfahren der Mikro- und Nanotelektronik gewinnen die Vakuumverfahren zunehmend an Bedeutung. Die Kenntnis der physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung befähigt den Zuhörer, im späteren Einsatz vakuumtechnische Fragestellungen effizient zu bearbeiten. Die Vorlesung vermittelt Inhalte über alle Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum und lehrt unter anderem den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen. Die Vorlesung wird durch ein Seminar zur Vakuumtechnik ergänzt.


Verantwortlich: Dr. G. Ecke

Details in major Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
module namevacuum technology
credit points5
Obligationobligatory elective
certificate of the module Individual achievements or exams
details of the certificate