Technische Universit├Ąt Ilmenau

Micro- and semiconductor technology 2 - Modultafeln of TU Ilmenau

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module properties 100714 - common information
module number100714
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2142 (Nanotechnology Group)
module leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
requirements

Grundkenntnisse in Physik, Chemie und den Funktionsweisen von elektronischen Bauelementen und integrierten Schaltkreisen. Kenntnisse des Schaltkreisentwurfes. Kenntnisse der Einzelprozesse der Mikro- und Halbleitertechnologie.

learning outcome

Vermittlung der Anwendung der Einzelprozesse in der Mikro- und Halbleitertechnolgie auf ihre Integration für die Herstellung von Herstellung von Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltkreisen, Sensor- und Mikrosystemen. Auf der Grundlage des Verständnisses der physikalisch, chemischen und materialwissenschaftlichen Grundlagen der technologischen Einzelprozesse wird die Befähigungen vermittelt, diese auf komplexe halbleitertechnologische Prozesse anzuwenden, sie zu analysieren, und neue Verfahrensabläufe zu synthetisieren.

Details in major Master Elektrotechnik und Informationstechnik 2014 (MNE)
module nameMicro- and semiconductor technology 2
credit points5
Obligationobligatory
certificate of the module Individual achievements or exams
details of the certificate