Technische Universität Ilmenau

Technology practical training - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 1481 - common information
subject number1481
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2142 (Nanotechnology Group)
subject leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
languageDeutsch
term ganzjährig
previous knowledge and experience

Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik. Nanotechnolgiee

learning outcome

Ziel dieses Praktikums ist das Kennenlernen wesentlicher technologischer Schritte zur Herstellung elektronischer und sensorischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und organischen Materialien. Der Student erwirbt die Fähigkeit, praktische Arbeiten an technologischen Maschinen teils selbstständig und teils unter Anleitung durchzuführen.

content

Im Praktikum wird ein Drucksensor hergestellt. Dabei soll ein Einblick in die Anlagentechnik und Messtechnik sowie die Arbeitsweise der Halbleitertechnologie vermittelt werden. In der Abfolge von Prozessschritten, die zu den Versuchen: Thermische Oxidation,Schleuderprozesse, Hochvakuumbedampfung, Plasmazerstäuben, sowie optische und elektrische Charakterisierung zusammengefasst sind, ist eine Polymer/Silizium-Struktur für einen Licht - Detektor herzustellen und zu charakterisieren. Hierdurch wird die Wechselwirkung zwischenTechnologie und Bauelementeeigenschaften deutlich gemacht. ErgänzendeVersuche geben eine Einführung in die Elementanalyse mit Verfahren der Oberflächenanalytik, in die Vakuumtechnik sowie die Prozessanalytik am Beispiel der Ellipsometrie.
Das Praktikum beinhaltet folgende Verfahren:
1. Oxidation, 2. Ellipsometrie, 3. Kontaktierung, 4. Spin-Coating, 6. Elektrische Charakterisierung, 7. Vakuumerzeugung, 8. Vakkummessung, 9. Sputtern, 10. Plasmaätzen

media of instruction

Praktikum an technologischen Apparaturen

literature / references

Praktikumsanleitungen und Sekundärliteratur

evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2008
ATTENTION: not offered anymore
subject nameTechnology practical training
examination number2100053
credit points4
on-campus program (h)45
self-study (h)75
Obligationobligatory
examalternative pass-fail certificate
details of the certificate
maximum number of participants
Details in major Master Wirtschaftsingenieurwesen 2011 (ET)
ATTENTION: not offered anymore
subject nameTechnology practical training
examination number2100053
credit points4
on-campus program (h)45
self-study (h)75
Obligationobligatory elective
examalternative pass-fail certificate
details of the certificate
maximum number of participants
Details in major Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009, Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009 (ET), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2010 (ET), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2010
ATTENTION: not offered anymore
subject nameTechnology practical training
examination number2100053
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examalternative pass-fail certificate
details of the certificate
maximum number of participants