Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanostrukturtechnik - Modultafeln of TU Ilmenau

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module properties 5961 - common information
module number5961
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group 2142 (Nanotechnology Group)
module leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
requirements
learning outcomeDas Modul enthält ausgewählte Lehrangebote mit ingenieurwissenschaftlichem und mit naturwissenschaftlichem Fokus.
Die Studierenden sind in der Lage ausgewählte mikro- und nanoelektronische sowie mikromechanische Systeme herzustellen. Die Studenten besitzen die Fachkompetenz um Technologieabläufe zur Herstellung von Halbleiterbauelementen zu planen und durchzuführen. Sie besitzen die Fachkompetenz Mikro- und Nanosysteme durch eine „top-down“ sowie „bottom-up“ Technologie zu realisieren.
Details in major Master Micro- and Nanotechnologies 2008
module nameMikro- und Nanostrukturtechnik
credit points12
Obligationobligatory
certificate of the module Individual achievements or exams
details of the certificate