Mikro- und Nanotechnologiepraktikum - Modultafeln der TU Ilmenau
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Prüfungen.
| Fachinformationen zu Fachnummer 5974 - allgemeine Informationen | |
|---|---|
| Fachnummer | 5974 |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Fachgebietsnummer | 2142 (Nanotechnologie) |
| Fachverantwortliche(r) | Prof. Dr. Heiko Jacobs |
| Sprache | Deutsch |
| Turnus | ganzjährig |
| Vorkenntnisse | Mikro- und Halbleitertechnologie / Mikrotechnik I |
| Lernergebnisse | Die Studierenden sind in der Lage ausgewählte mikro- und nanoelektronische sowie mikromechanische Bauelemente herzustellen. Die Studenten besitzen die Fachkompetenz um Technologieabläufe zur Herstellung von Halbleiterbauelementen zu planen und durchzuführen. Sie besitzen die Fachkompetenz Bauelemente zu charakterisieren und Fehlfunktionen zu identifizieren. |
| Inhalt | Es werden praktische Fähigkeiten vermittelt, die es ermöglichen, die einzelnen Prozessschritte in der Mikro- und Halbleitertechnologie hinsichtlich der physikalischen, chemischen und anlagentechnischen Grundlagen und ihrer Anwendbarkeit zu analysieren und zu bewerten. Das Praktikum gibt eine Vertiefung in die physikalischen, chemischen und anlagentechnischen Grundlagen der Einzelprozesse, die bei der Herstellung von Sensoren, Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltkreisen, Sensor- und Mikrosystemen Verwendung finden. Dies wird am Beispiel einer geschlossenen Prozessierung eines Halbleiterbauelementes vermittelt. Entwurf einfacher elektronischer und mikromechanischer Bauelelmente, Definition der Prozesskette, Durchführung der Einzelverfahren, Charakterisierung der Bauelemente Praktikumsverantwortlicher: M. Sc. Leslie Schlag Liebe Studierende, zwecks Planung der Praktika melden Sie sich bitte an leslie.schlag@tu-ilmenau.de |
| Medienformen | Technologiepraktikum |
| Literatur | Nanoelectronics and Information Technology Rainer Waser (Ed.) 2003 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co ISBN 3-527-40363-9 Fundamentals of microfabrication M. Madou |
| Lehrevaluation | Pflichtevaluation: Freiwillige Evaluation: Hospitation: |
| Spezifik Referenzfach | |
|---|---|
| Fachname | Mikro- und Nanotechnologiepraktikum |
| Prüfungsnummer | |
| Leistungspunkte | 3 |
| SWS | |
| Präsenzstudium (h) | 22 |
| Selbststudium (h) | 68 |
| Verpflichtung | Pflicht |
| Abschluss | alternative Studienleistung |
| Details zum Abschluss | |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | Die Anmeldung zur alternativen semesterbegleitenden Abschlussleistung erfolgt über das Prüfungsverwaltungssystem (thoska) außerhalb des zentralen Prüfungsanmeldezeitraumes. Die früheste Anmeldung ist generell ca. 2-3 Wochen nach Semesterbeginn möglich. Der späteste Zeitpunkt für die An- oder Abmeldung von dieser konkreten Abschlussleistung ist festgelegt auf den (falls keine Angabe, erscheint dies in Kürze): |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Spezifik im Studiengang Master Regenerative Energietechnik 2011, Master Regenerative Energietechnik 2013 | |
|---|---|
| Fachname | Mikro- und Nanotechnologiepraktikum |
| Prüfungsnummer | 2100199 |
| Leistungspunkte | 3 |
| Präsenzstudium (h) | 22 |
| Selbststudium (h) | 68 |
| Verpflichtung | Pflicht |
| Abschluss | alternative Studienleistung |
| Details zum Abschluss | |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | Die Anmeldung zur alternativen semesterbegleitenden Abschlussleistung erfolgt über das Prüfungsverwaltungssystem (thoska) außerhalb des zentralen Prüfungsanmeldezeitraumes. Die früheste Anmeldung ist generell ca. 2-3 Wochen nach Semesterbeginn möglich. Der späteste Zeitpunkt für die An- oder Abmeldung von dieser konkreten Abschlussleistung ist festgelegt auf den (falls keine Angabe, erscheint dies in Kürze): |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Spezifik im Studiengang Master Technische Physik 2013 | |
|---|---|
| Fachname | Mikro- und Nanotechnologiepraktikum |
| Prüfungsnummer | 2100140 |
| Leistungspunkte | 2 |
| Präsenzstudium (h) | 22 |
| Selbststudium (h) | 38 |
| Verpflichtung | Pflicht |
| Abschluss | keiner |
| Details zum Abschluss | |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008 | |
|---|---|
| Fachname | Mikro- und Nanotechnologiepraktikum |
| Prüfungsnummer | 2100199 |
| Leistungspunkte | 3 |
| Präsenzstudium (h) | 34 |
| Selbststudium (h) | 56 |
| Verpflichtung | Pflicht |
| Abschluss | alternative Studienleistung |
| Details zum Abschluss | |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | Die Anmeldung zur alternativen semesterbegleitenden Abschlussleistung erfolgt über das Prüfungsverwaltungssystem (thoska) außerhalb des zentralen Prüfungsanmeldezeitraumes. Die früheste Anmeldung ist generell ca. 2-3 Wochen nach Semesterbeginn möglich. Der späteste Zeitpunkt für die An- oder Abmeldung von dieser konkreten Abschlussleistung ist festgelegt auf den (falls keine Angabe, erscheint dies in Kürze): |
| max. Teilnehmerzahl | |
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