Mikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik - Modultafeln der TU Ilmenau
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| Fachinformationen zu Fachnummer 7524 - allgemeine Informationen | |
|---|---|
| Fachnummer | 7524 |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Fachgebietsnummer | 2142 (Nanotechnologie) |
| Fachverantwortliche(r) | Dr. Jörg Pezoldt |
| Sprache | Deutsch |
| Turnus | Wintersemester |
| Vorkenntnisse | Die Vorlesung baut auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Bauelemente“ des BA Optronik. Es werden gleichzeitig Kenntnisse auf dem Gebiet der Wirkungsweise von optischen Sensoren und Empfängern, Feskörperlaser, Solarzellen und nanooptischen Komponenten vorrausgesetzt. |
| Lernergebnisse | Aufbauend auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Baulemente“ werden weiterführende Techniken behandelt, die für die Realisierung von Bauelementen der Optoelektronik notwendig, welche auf lateral und vertikal strukturierte Gebiete im Nanometerbereich beruhen. In der Lehrveranstaltung werden ausgehend vom Design der Bauelemente die technologischen Verfahren für ihre Herstellung abgeleitet und im einzelnen behandelt. Neben den deterministischen Strukturierungs- und Prozessierungsprinzipien werden Technologien vermittelt, die auf Selbstformierungs- und Selbstorganisationsprinzipien beruhen. Die Studierenden vertiefen ihre Kenntnisse über die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und sind fähig technische und wirtschaftliche Aspekte zu beurteilen. Sie sind in der Lage Prozeßabläufe für die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und Syteme zu analysieren und zu entwickeln. Sie sind fähig zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern |
| Inhalt | 1. Nanooptoelektronische Bauelemente 2. Deterministische und selbstorganisierende Technologien 3. Prinzipien der Selbstorganisation und Selbstformierung in technologischen Prozessen 4. Nanolithographie 5. Nanoätzen 6. Nanoepitaxie 7. Nanoionenimplantation |
| Medienformen | Overhead-Folien und Tafel |
| Literatur | 1. H. Zimmermann, Silicon optoelectronic integrated circuits, Springer, 2004, 352 S. 2. Optical Interconnects: The Silicon Approach, Eds. L. Pavesi, G. Guillot, Springer, 2006, 377 S. 3. Z. Cui, Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits, Springer, 2009, 348 S. 4. V.A. Shuchkin, N.N. Ledentsov, D. Bimberg, Epitaxy of Nanostrucutres, Springer, 2003, 387 S. 5. S. Janusonis, Self-formation Theory and Applications, Solid State Phenomena, Vol. Vols. 97-98, 2004, 492 S. |
| Lehrevaluation | Pflichtevaluation: Freiwillige Evaluation: Hospitation: |
| Spezifik Referenzfach | |
|---|---|
| Fachname | Mikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik |
| Prüfungsnummer | |
| Leistungspunkte | 3 |
| SWS | |
| Präsenzstudium (h) | 22 |
| Selbststudium (h) | 68 |
| Verpflichtung | Wahlpflicht |
| Abschluss | schriftliche Prüfungsleistung, 120 Minuten |
| Details zum Abschluss | |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Spezifik im Studiengang Master Optische Systemtechnik/Optronik 2017 | |
|---|---|
| Fachname | Mikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik |
| Prüfungsnummer | 2100153 |
| Leistungspunkte | 3 |
| Präsenzstudium (h) | 22 |
| Selbststudium (h) | 68 |
| Verpflichtung | Wahlpflicht |
| Abschluss | schriftliche Prüfungsleistung, 120 Minuten |
| Details zum Abschluss | |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
| Spezifik im Studiengang Master Optische Systemtechnik/Optronik 2014 | |
|---|---|
| Fachname | Mikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik |
| Prüfungsnummer | 2100153 |
| Leistungspunkte | 3 |
| Präsenzstudium (h) | 22 |
| Selbststudium (h) | 68 |
| Verpflichtung | Pflicht |
| Abschluss | schriftliche Prüfungsleistung, 120 Minuten |
| Details zum Abschluss | |
| Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL | |
| max. Teilnehmerzahl | |
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