Technische Universität Ilmenau

Technology of opto-electronic devices - Modultafeln of TU Ilmenau

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module properties module number 1615 - common information
module number1615
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2142 (Nanotechnology)
module leader Dr. Jörg Pezoldt
languageDeutsch
term Sommersemester
previous knowledge and experienceDie Vorlesung baut auf dem Modul Physik des gemeinsamen ingenieurwissenschaftlichen Grundlagenstudiums und auf Grundkenntnissen der physikalischen Optik und der Werkstoffwissenschaften auf.
learning outcomeIm diesem Fach werden grundlegende Verfahren und Verfahrensschritte der Technologie optoelektronischer Bauelementen und deren Integrationstechniken auf der Basis der Technologie von Verbindungshalbleiter und der Siliziumtechnologie vermittelt.
Die Studierenden beherrschen die Grundlagen der Herstellung optoelektronischer Bauelemente und sind fähig technische und wirtschaftliche Aspekte zu beurteilen.
Sie sind in der Lage, die Integrationstechniken optoelektronischer Bauelemente auf der Basis der Siliziumtechnologie zu analysieren.
Die Studierenden sind fähig prinzipielle Lösungen für die technologischen Prozesse zur Herstellung von emittierenden Bauelementen zu entwerfen.
Ebenso sind Sie in der Lage die technologischen Prozesse zur Herstellung von Fotodetektoren zu bewerten.
Sie sind fähig zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern.
content1. Kristalle und ihre Eigenschaften
2. Mischkristalle
3. Heterostrukturen
4. Einkristallzucht von elementaren und Verbindungshalbleitern
5. Epitaxie und Heteroepitaxie
6. Dotierung
7. Metallisierung
8. Fotolithografie
9. Ätzen
10. Herstellung von Leuchtdioden und Lasern
11. Herstellung von Fotodetektoren
12. Herstellung von Spiegeln und Wellenleitern
13. Systemintegration
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation

Overhead-Folien und Tafel

https://moodle2.tu-ilmenau.de/course/view.php?id=3575

 

literature / references1. J. Singh: Semiconductor optoelectronics: physics and technology, McGraw-Hill,1995.
2. H. Zimmermann: Silicon optoelectronic integrated circuits, Springer, 2004, 352 S.
3. K.-J. Ebeling: Integrierte Optoelektronik: Wellenleiteroptik, Photonik, Halbleiter, Springer, 1992.
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

SS 2019 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details reference subject
module nameTechnology of opto-electronic devices
examination number2100133
credit points2
SWS2
on-campus program (h)22.5
self-study (h)37.5
obligationobligatory module
examwritten examination performance, 120 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in degree program Bachelor Optische Systemtechnik/Optronik 2013
module nameTechnology of opto-electronic devices
examination number2100469
credit points3
on-campus program (h)22
self-study (h)68
obligationobligatory module
examwritten pass-fail certificate, 120 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants