Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

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Modulinformationen zu Modulnummer 7524 - allgemeine Informationen
Modulnummer7524
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2142 (Nanotechnologie)
Modulverantwortliche(r) Dr. Jörg Pezoldt
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseDie Vorlesung baut auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Bauelemente“ des BA Optronik. Es werden gleichzeitig Kenntnisse auf dem Gebiet der Wirkungsweise von optischen Sensoren und Empfängern, Feskörperlaser, Solarzellen und nanooptischen Komponenten vorrausgesetzt.
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenAufbauend auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Baulemente“ werden weiterführende Techniken behandelt, die für die Realisierung von Bauelementen der Optoelektronik notwendig, welche auf lateral und vertikal strukturierte Gebiete im Nanometerbereich beruhen. In der Lehrveranstaltung werden ausgehend vom Design der Bauelemente die technologischen Verfahren für ihre Herstellung abgeleitet und im einzelnen behandelt. Neben den deterministischen Strukturierungs- und Prozessierungsprinzipien werden Technologien vermittelt, die auf Selbstformierungs- und Selbstorganisationsprinzipien beruhen.
Die Studierenden vertiefen ihre Kenntnisse über die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und sind fähig technische und wirtschaftliche Aspekte zu beurteilen.
Sie sind in der Lage Prozeßabläufe für die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und Syteme zu analysieren und zu entwickeln.
Sie sind fähig zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern
Inhalt1. Nanooptoelektronische Bauelemente
2. Deterministische und selbstorganisierende Technologien
3. Prinzipien der Selbstorganisation und Selbstformierung in technologischen Prozessen
4. Nanolithographie
5. Nanoätzen
6. Nanoepitaxie
7. Nanoionenimplantation
MedienformenOverhead-Folien und Tafel
Literatur1. H. Zimmermann, Silicon optoelectronic integrated circuits, Springer, 2004, 352 S.
2. Optical Interconnects: The Silicon Approach, Eds. L. Pavesi, G. Guillot, Springer, 2006, 377 S.
3. Z. Cui, Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits, Springer, 2009, 348 S.
4. V.A. Shuchkin, N.N. Ledentsov, D. Bimberg, Epitaxy of Nanostrucutres, Springer, 2003, 387 S.
5. S. Janusonis, Self-formation Theory and Applications, Solid State Phenomena, Vol. Vols. 97-98, 2004, 492 S.
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik Referenzmodul
ModulnameMikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik
Prüfungsnummer2100153
Leistungspunkte3
SWS2
Präsenzstudium (h)22.5
Selbststudium (h)67.5
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 120 Minuten
Details zum Abschluss

aPL (alternative Prüfungsleistung)

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Optische Systemtechnik/Optronik 2017
ModulnameMikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik
Prüfungsnummer2100153
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)68
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 120 Minuten
Details zum Abschluss

aPL (alternative Prüfungsleistung)

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Optische Systemtechnik/Optronik 2014
ModulnameMikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik
Prüfungsnummer2100153
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)68
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 120 Minuten
Details zum Abschluss

aPL (alternative Prüfungsleistung)

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl