Technische Universität Ilmenau

Micro- and nanotechnologies for optoelectronics - Modultafeln of TU Ilmenau

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module properties module number 7524 - common information
module number7524
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2142 (Nanotechnology)
module leader Dr. Jörg Pezoldt
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceDie Vorlesung baut auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Bauelemente“ des BA Optronik. Es werden gleichzeitig Kenntnisse auf dem Gebiet der Wirkungsweise von optischen Sensoren und Empfängern, Feskörperlaser, Solarzellen und nanooptischen Komponenten vorrausgesetzt.
learning outcomeAufbauend auf der Vorlesung „Technologie optoelektronischer Baulemente“ werden weiterführende Techniken behandelt, die für die Realisierung von Bauelementen der Optoelektronik notwendig, welche auf lateral und vertikal strukturierte Gebiete im Nanometerbereich beruhen. In der Lehrveranstaltung werden ausgehend vom Design der Bauelemente die technologischen Verfahren für ihre Herstellung abgeleitet und im einzelnen behandelt. Neben den deterministischen Strukturierungs- und Prozessierungsprinzipien werden Technologien vermittelt, die auf Selbstformierungs- und Selbstorganisationsprinzipien beruhen.
Die Studierenden vertiefen ihre Kenntnisse über die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und sind fähig technische und wirtschaftliche Aspekte zu beurteilen.
Sie sind in der Lage Prozeßabläufe für die Herstellung nanooptoelektronischer Bauelemente und Syteme zu analysieren und zu entwickeln.
Sie sind fähig zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern
content1. Nanooptoelektronische Bauelemente
2. Deterministische und selbstorganisierende Technologien
3. Prinzipien der Selbstorganisation und Selbstformierung in technologischen Prozessen
4. Nanolithographie
5. Nanoätzen
6. Nanoepitaxie
7. Nanoionenimplantation
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participationOverhead-Folien und Tafel
literature / references1. H. Zimmermann, Silicon optoelectronic integrated circuits, Springer, 2004, 352 S.
2. Optical Interconnects: The Silicon Approach, Eds. L. Pavesi, G. Guillot, Springer, 2006, 377 S.
3. Z. Cui, Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits, Springer, 2009, 348 S.
4. V.A. Shuchkin, N.N. Ledentsov, D. Bimberg, Epitaxy of Nanostrucutres, Springer, 2003, 387 S.
5. S. Janusonis, Self-formation Theory and Applications, Solid State Phenomena, Vol. Vols. 97-98, 2004, 492 S.
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details reference subject
module nameMicro- and nanotechnologies for optoelectronics
examination number2100153
credit points3
SWS2
on-campus program (h)22.5
self-study (h)67.5
obligationobligatory module
examwritten examination performance, 120 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in degree program Master Optische Systemtechnik/Optronik 2017
module nameMicro- and nanotechnologies for optoelectronics
examination number2100153
credit points3
on-campus program (h)22
self-study (h)68
obligationelective module
examwritten examination performance, 120 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in degree program Master Optische Systemtechnik/Optronik 2014
module nameMicro- and nanotechnologies for optoelectronics
examination number2100153
credit points3
on-campus program (h)22
self-study (h)68
obligationobligatory module
examwritten examination performance, 120 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants