Technische Universität Ilmenau

Micro- and nanosystems technology - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 5627 - allgemeine Informationen
Fachnummer5627
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2143 (Mikro-und nanoelektronische Systeme)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
Spracheenglisch
TurnusWintersemester
Vorkenntnisse

Participation in the course "Micro and nano sensor technology"

Lernergebnisse

Students acquire an overview on basic and background of micro- and nanosystem technology, devices and fabrication technology. They aquire knowledge to understand original literature, to design and use micro devices.

Inhalt
  • Requirements of micro- and nanotechnology;
  • material properties and choice of materials;
  • physical and engineering backgrounds of microsystem technology;
  • fabrication and functionality of miniature sensors or actuators based on selected examples
Medienformen

Overhead projector, beamer, blackboard

Literatur

B. Heimann, W. Gerth, K. Popp: Mechatronik; Hanser Verlag München, 1998

S. E. Lyschevski: Nano- and micromechanical systems, CRC Press, 2005

Gerald Gerlach, Wolfram Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, München-Wien 2006

G. Gerlach, W. Dötzel, Introduction to Microsystem Technology, Wiley & Sons, 2008

W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Weinheim, Wiley-VCH, 3. Auflage (2005)

U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner, 2. Auflage (2004)

M. Glück, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner (2005)

Friedemann Völklein, Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen, Technologien, Anwendungen. Wiesbaden, Vieweg (2006)

Friedemann Völklein, Einführung in die Mikrosystemtechnik : Grundlagen und Praxisbeispiele. Braunschweig, Vieweg (2000)

Werner Karl Schomburg, Introduction to Microsystem Design, Springer, Berlin-Heidelberg 2015

Nam-Trung Nguyen, Mikrofluidik, Teubner, Wiesbaden 2004

Nguyen/Wereley, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Artech House, Boston-London 2002

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2016
FachnameMicro- and nanosystems technology
Prüfungsnummer2100565
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameMikro- und Nanosystemtechnik 2
Prüfungsnummer2100196
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2013
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameMikro- und Nanosystemtechnik 2
Prüfungsnummer2100196
Leistungspunkte5
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.