Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanosensoren - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 5994 - allgemeine Informationen
Fachnummer5994
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
SpracheDeutsch, auf Nachfrage Englisch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseGrundkenntnisse in Physik, Chemie, Mikrotechnik und Halbleitertechnologie
Lernergebnisse

Die Studenten verfügen über fundierte Kenntnisse der Mikro- und Nanosensorik. Sie sind in der Lage, Stimulus und Antwort in mikro- und nanodimensionierten Systeme zu verstehen. Sie analysieren und bewerten Mikro- und Nanosensoren im Hinblick auf ihre Prinzipien und Anwendungsmöglichkeiten. Sie sind in der Lage, Mikro- und Nanosensoren zu synthetisieren und in Systemen gezielt zum Einsatz zu bringen. Die Studenten verfügen über Verständnis des Aufbaues und der Funktionsweise von Sensoren für die wichtigsten nichtelektrischen Meßgrößen (z.B. Temperatur, Feuchte, Gaskonzentration, Ionenkonzentration, Durchflußmenge, Druck, Kraft, Beschleunigung, Weg, Winkel, Drehzahl, Lichtintensität, Farbe, magnetische Feldstärke etc.). Ein besonderes Augenmerk wird auf sogenannte Raster-Sonden-Techniken gelegt.

InhaltDie Vorlesung beinhaltet eine Einführung in die Grundlagen der Sensorprinzipien der gängigen Sensortechniken, wie auch von Sensoren-Mikrotechnologien und Klassifikation der Sensoren:
(i) Energieformen und Wandlung,
(ii)Physikalische Effekte der Sensorik.
Die Vorlesung beinhaltet auch einen Überblick über die Sensoren für mechanische, thermische, chemische, magnetische und optische Größen und über die Methoden der Sensorik und deren mikrosystemtechnische Realisierung.
Das Seminar vertieft die Kenntnisse zu Technologien und Applikationen von Mikrosensoren anhand von Seminarvorträgen auf der Basis von Literaturrecherchen
MedienformenPowerpoint-Präsentatione, Tafelarbeit
LiteraturThomas Elbel: Mikrosensorik, Vieweg-Verlag 1996 /ISBN 3-528-03377-0
J. Fraden: "Handbook of modern sensors" 1996, Springer
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameMikro- und Nanosensoren
Prüfungsnummer2100186
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.