Thin films and surfaces - Modultafeln of TU Ilmenau
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| subject properties subject number 101121 - common information | |
|---|---|
| subject number | 101121 |
| department | Department of Electrical Engineering and Information Technology |
| ID of group | 2172 (Group of Materials for Electrical Engineering and Electronics) |
| subject leader | Prof. Dr. Peter Schaaf |
| language | Deutsch |
| term | Wintersemester |
| previous knowledge and experience | Grundlagen der Werkstoffwissenschaft und der Naturwissenschaften |
| learning outcome | Die Studierenden sind in der Lage, Zustände und Eigenschaften von Oberflächen und Dünnen Schichten für verschiedenste Werkstoffe zu bewerten, vorherzusagen und anzuwenden. Sie können Schichtdickenmessverfahren und Verfahren für Zustandsparamter an Oberflächen und in Dünnen Schichten erklären und für neue Anwendungen anwenden. Das Fach vermittelt Fach-, Methoden- und Systemkompetenz. |
| content | 1. Schichtdickenmessverfahren 1.1. Begriffsbestimmungen "Schicht" und "Schichtdicke" 1.2. Massebestimmung 1.3. Optische Verfahren 1.4. Elektrische Verfahren 1.5. Magnetische Verfahren 1.6. Pneumatische Verfahren 1.7. Radiometrische Verfahren 1.8. Thermische Verfahren 2. Messverfahren für innere mechanische Spannungen 2.1. Mechanische Verfahren 2.2. Akustische Verfahren 2.3. Optische Prüfverfahren 2.4. Röntgen- und Elektronenbeugungsverfahren 2.5. Dehnmessstreifen 3. Rauheitsmessungen 3.1. Optische Verfahren 3.2. Mechanische Verfahren 3.3. Pneumatische Verfahren 4. Haftfestigkeitsprüfverfahren 4.1. Technologische Prüfverfahren 4.2. Mechanische Messverfahren 4.3. Zerstörungsfreie Prüfverfahren 5. Glanzbestimmung 6. Härtemessung an Schichten 6.1. Eindringkörpermethoden 6.2. Ritzhärteprüfmethoden 6.3. Zerstörungsfreie Härteprüfverfahren 7. Porositätsbestimmung 7.1. Chemische und elektrochemische Verfahren 7.2. Physikalische Verfahren 8. Dichtebestimmung 8.1. Begriffsbestimmung 8.2. Messverfahren 9. Temperaturmessung 9.1 Temperaturskalen 9.2. Berührungsthermometer 9.3. Strahlungsthermometer 9.4. Probleme der Temperaturbestimmung 10. Druckmessung |
| media of instruction | PowerPoint Folien Vorlesungsskript Tafel/Whiteboard Computer Demo Animationen Videos |
| literature / references | - Nitzsche, H.: Schichtmeßtechnik, Würzburg: Vogel, 1997 - Herrmann, D.: Schichtdickenmessung, München, Wien: Oldenbourg, 1993 - Moderne Beschichtungsverfahren .- 2. neubearb. Aufl. (Herausg. H.-D. Steffens, J. Wilden). Oberursel: DGM Informationsgesellschaft, 1996 - Werkstoffprüfung (Herausg.: H. Blumenauer), 6. Aufl. Stuttgart: Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, 1994 |
| evaluation of teaching | |
| Details in major Master Micro- and Nanotechnologies 2016 | |
|---|---|
| subject name | Thin films and surfaces |
| examination number | 2100567 |
| credit points | 3 |
| on-campus program (h) | 22 |
| self-study (h) | 68 |
| Obligation | obligatory elective |
| exam | written examination performance, 90 minutes |
| details of the certificate | |
| maximum number of participants | |
| Details in major Master Werkstoffwissenschaft 2013 | |
|---|---|
| subject name | Thin films and surfaces |
| examination number | 2100527 |
| credit points | 3 |
| on-campus program (h) | 22 |
| self-study (h) | 68 |
| Obligation | obligatory |
| exam | written examination performance, 90 minutes |
| details of the certificate | mündliche Prüfung mit einer Dauer von 30 Minuten |
| maximum number of participants | |