Thin films and surfaces - Modultafeln of TU Ilmenau

The Modultafeln have a pure informational character. The legally binding information can be found in the corresponding Studienplan and Modulhandbuch, which are served on the pages of the course offers. Please also pay attention to this legal advice (german only). Information on place and time of the actual lectures is served in the Vorlesungsverzeichnis.

subject properties subject number 101121 - common information
subject number	101121
department	Department of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group	2172 (Group of Materials for Electrical Engineering and Electronics)
subject leader	Prof. Dr. Peter Schaaf
language	Deutsch
term	Wintersemester
previous knowledge and experience	Grundlagen der Werkstoffwissenschaft und der Naturwissenschaften
learning outcome	Die Studierenden sind in der Lage, Zustände und Eigenschaften von Oberflächen und Dünnen Schichten für verschiedenste Werkstoffe zu bewerten, vorherzusagen und anzuwenden. Sie können Schichtdickenmessverfahren und Verfahren für Zustandsparamter an Oberflächen und in Dünnen Schichten erklären und für neue Anwendungen anwenden. Das Fach vermittelt Fach-, Methoden- und Systemkompetenz.
content	1. Schichtdickenmessverfahren 1.1. Begriffsbestimmungen "Schicht" und "Schichtdicke" 1.2. Massebestimmung 1.3. Optische Verfahren 1.4. Elektrische Verfahren 1.5. Magnetische Verfahren 1.6. Pneumatische Verfahren 1.7. Radiometrische Verfahren 1.8. Thermische Verfahren 2. Messverfahren für innere mechanische Spannungen 2.1. Mechanische Verfahren 2.2. Akustische Verfahren 2.3. Optische Prüfverfahren 2.4. Röntgen- und Elektronenbeugungsverfahren 2.5. Dehnmessstreifen 3. Rauheitsmessungen 3.1. Optische Verfahren 3.2. Mechanische Verfahren 3.3. Pneumatische Verfahren 4. Haftfestigkeitsprüfverfahren 4.1. Technologische Prüfverfahren 4.2. Mechanische Messverfahren 4.3. Zerstörungsfreie Prüfverfahren 5. Glanzbestimmung 6. Härtemessung an Schichten 6.1. Eindringkörpermethoden 6.2. Ritzhärteprüfmethoden 6.3. Zerstörungsfreie Härteprüfverfahren 7. Porositätsbestimmung 7.1. Chemische und elektrochemische Verfahren 7.2. Physikalische Verfahren 8. Dichtebestimmung 8.1. Begriffsbestimmung 8.2. Messverfahren 9. Temperaturmessung 9.1 Temperaturskalen 9.2. Berührungsthermometer 9.3. Strahlungsthermometer 9.4. Probleme der Temperaturbestimmung 10. Druckmessung
media of instruction	PowerPoint Folien Vorlesungsskript Tafel/Whiteboard Computer Demo Animationen Videos
literature / references	- Nitzsche, H.: Schichtmeßtechnik, Würzburg: Vogel, 1997 - Herrmann, D.: Schichtdickenmessung, München, Wien: Oldenbourg, 1993 - Moderne Beschichtungsverfahren .- 2. neubearb. Aufl. (Herausg. H.-D. Steffens, J. Wilden). Oberursel: DGM Informationsgesellschaft, 1996 - Werkstoffprüfung (Herausg.: H. Blumenauer), 6. Aufl. Stuttgart: Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, 1994
evaluation of teaching

Details in major Master Micro- and Nanotechnologies 2016
subject name	Thin films and surfaces
examination number	2100567
credit points	3
on-campus program (h)	22
self-study (h)	68
Obligation	obligatory elective
exam	written examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants

Details in major Master Werkstoffwissenschaft 2013
subject name	Thin films and surfaces
examination number	2100527
credit points	3
on-campus program (h)	22
self-study (h)	68
Obligation	obligatory
exam	written examination performance, 90 minutes
details of the certificate	mündliche Prüfung mit einer Dauer von 30 Minuten
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants