Technische Universit├Ąt Ilmenau

Thin films and surfaces - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 101121 - common information
subject number101121
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2172 (Group of Materials for Electrical Engineering and Electronics)
subject leaderProf. Dr. Peter Schaaf
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experience

Grundlagen der Werkstoffwissenschaft und der Naturwissenschaften

learning outcome

Die Studierenden sind in der Lage, Zustände und Eigenschaften von Oberflächen und Dünnen Schichten für verschiedenste Werkstoffe zu bewerten, vorherzusagen und anzuwenden. Sie können Schichtdickenmessverfahren und Verfahren für Zustandsparamter an Oberflächen und in Dünnen Schichten erklären und für neue Anwendungen anwenden. Das Fach vermittelt Fach-, Methoden- und Systemkompetenz.

content

1. Schichtdickenmessverfahren 1.1. Begriffsbestimmungen "Schicht" und "Schichtdicke" 1.2. Massebestimmung 1.3. Optische Verfahren 1.4. Elektrische Verfahren 1.5. Magnetische Verfahren 1.6. Pneumatische Verfahren 1.7. Radiometrische Verfahren 1.8. Thermische Verfahren 2. Messverfahren für innere mechanische Spannungen 2.1. Mechanische Verfahren 2.2. Akustische Verfahren 2.3. Optische Prüfverfahren 2.4. Röntgen- und Elektronenbeugungsverfahren 2.5. Dehnmessstreifen 3. Rauheitsmessungen 3.1. Optische Verfahren 3.2. Mechanische Verfahren 3.3. Pneumatische Verfahren 4. Haftfestigkeitsprüfverfahren 4.1. Technologische Prüfverfahren 4.2. Mechanische Messverfahren 4.3. Zerstörungsfreie Prüfverfahren 5. Glanzbestimmung 6. Härtemessung an Schichten 6.1. Eindringkörpermethoden 6.2. Ritzhärteprüfmethoden 6.3. Zerstörungsfreie Härteprüfverfahren 7. Porositätsbestimmung 7.1. Chemische und elektrochemische Verfahren 7.2. Physikalische Verfahren 8. Dichtebestimmung 8.1. Begriffsbestimmung 8.2. Messverfahren 9. Temperaturmessung 9.1 Temperaturskalen 9.2. Berührungsthermometer 9.3. Strahlungsthermometer 9.4. Probleme der Temperaturbestimmung 10. Druckmessung

media of instruction

PowerPoint Folien

Vorlesungsskript

Tafel/Whiteboard

Computer Demo

Animationen

Videos

literature / references

- Nitzsche, H.: Schichtmeßtechnik, Würzburg: Vogel, 1997

- Herrmann, D.: Schichtdickenmessung, München, Wien: Oldenbourg, 1993

- Moderne Beschichtungsverfahren .- 2. neubearb. Aufl. (Herausg. H.-D. Steffens, J. Wilden). Oberursel: DGM Informationsgesellschaft, 1996

- Werkstoffprüfung (Herausg.: H. Blumenauer), 6. Aufl. Stuttgart: Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, 1994

evaluation of teaching
Details in major Master Micro- and Nanotechnologies 2016
subject nameThin films and surfaces
examination number2100567
credit points3
on-campus program (h)22
self-study (h)68
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in major Master Werkstoffwissenschaft 2013
subject nameThin films and surfaces
examination number2100527
credit points3
on-campus program (h)22
self-study (h)68
Obligationobligatory
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate

mündliche Prüfung mit einer Dauer von 30 Minuten

Signup details for alternative examinations
maximum number of participants