Surface technology and applications - Modultafeln of TU Ilmenau
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| subject properties subject number 101380 - common information | |
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| subject number | 101380 |
| department | Department of Electrical Engineering and Information Technology |
| ID of group | 2172 (Group of Materials for Electrical Engineering and Electronics) |
| subject leader | Prof. Dr. Peter Schaaf |
| language | Deutsch (bei Bedarf Englisch) |
| term | Wintersemester |
| previous knowledge and experience | Grundlagen der Werkstoffwissenschaft und der Plasma- und Oberflächentechnik
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| learning outcome | Dozent: PD Dr.-Ing. Birger Dzur
Die Studierenden kennen die Grundlagen und Prinzipien der Wärmeübertragung und verstehen die Besonderheiten des Wärmeübergangs unter Plasmabedingungen. Sie können einfache Modelle für Aufheizung, Beschleunigung, Deformation und Abkühlung von Partikeln im thermischen Plasma anwenden und die resultierenden Besonderheiten des Aufbaus thermischer Sprizschichten daraus ableiten. Die Studierenden verstehen die physikalischen und technischen Prinzipien der Vakuumerzeugung und -messung. Sie beherrschen die Grundlagen der wichtigsten Dünnschichtverfahren (PVD und CVD), die Mechanismen der Schichtbildung und die beeinflssenden Verfahensparameter zur Erzeugung dünner Schichten. Sie kennen außerdem plasmagestützte Verfahren der Randschichtmodifikation und haben einen Überblick zur Anwendung von Ionenstrahlen. Dieses Wissen befähigt die Studierenden, Aussagen über zu erwartende Schichteigenschaften in Abhängigkeit vom Verfahren und seiner technologischen Parameter zu treffen, sowie Werkstoffe und Verfahren für wichtige Anwendungen auszuwählen.
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| content | Dozent: PD Dr.-Ing. Birger Dzur
Teil 1: thermische Spritzverfahren Allgemeine Grundlagen des Wärmeübergangs Grundbegriffe, Grundgleichungen, Ähnlichkeitstheorie Der Plasmaspritzprozess Phasen, Schichtbildung, res. Struktur und Eigenschaften Thermische Spritzschichten: Werkstoffe und Anwendungen Besonderheiten des Lichtbogen-Drahtspritzens Pulversynthese und –modifikation mit ICP
Teil 2: Niederdruck-beschichtungsverfahren Vakuumerzeugung, -eigenschaften und -messung Plasmagenerierung im Vakuum PVD- und CVD-Prozesse Grundlagen, Verfahren, Schichtbildung, Zonenmodelle Ionenstrahlverfahren Wirkung von Ionen auf Festkörper, Ionenquellen, Ionenstrahlanlagen, Anwendungen (Aktivieren, Beschichten, Sputern, Imlantieren) Plasmadiffusionsverfahren Berechnungsgrundlagen, Verfahrensvarianten und Schichten Plasmasynthese nanostrukturierter Pulvver und Schichten
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| media of instruction | PowerPoint, Handout, Folien, Tafel
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| literature / references |
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| evaluation of teaching | |
| Details in major Master Werkstoffwissenschaft 2013 | |
|---|---|
| subject name | Surface technology and applications |
| examination number | 2100545 |
| credit points | 5 |
| on-campus program (h) | 45 |
| self-study (h) | 105 |
| Obligation | obligatory elective |
| exam | oral examination performance, 30 minutes |
| details of the certificate | mPL30 |
| maximum number of participants | |