Technische Universität Ilmenau

Thin Films Technology and Thin Film Analysis - Modultafeln of TU Ilmenau

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module properties module number 6701 - common information
module number6701
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2172 (Materials for Electrical Engineering and Electronics)
module leaderProf. Dr. Peter Schaaf
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceModule Werkstoffwissenschaft 1-2
learning outcomeDie Studierenden sind in der Lage, Schichtdickenmessverfahren und Verfahren für Zustandsparamter zu erklären und für neue Anwendungen zu synthetisieren.
Das Fach vermittelt Fach-, Methoden- und Systemkompetenz.
content1. Schichtdickenmessverfahren
1.1. Begriffsbestimmungen "Schicht" und "Schichtdicke"
1.2. Massebestimmung
1.3. Optische Verfahren
1.4. Elektrische Verfahren
1.5. Magnetische Verfahren
1.6. Pneumatische Verfahren
1.7. Radiometrische Verfahren
1.8. Thermische Verfahren
2. Messverfahren für innere mechanische Spannungen
2.1. Mechanische Verfahren
2.2. Akustische Verfahren
2.3. Optische Prüfverfahren
2.4. Röntgen- und Elektronenbeugungsverfahren
2.5. Dehnmessstreifen
3. Rauheitsmessungen
3.1. Optische Verfahren
3.2. Mechanische Verfahren
3.3. Pneumatische Verfahren
4. Haftfestigkeitsprüfverfahren
4.1. Technologische Prüfverfahren
4.2. Mechanische Messverfahren
4.3. Zerstörungsfreie Prüfverfahren
5. Glanzbestimmung
6. Härtemessung an Schichten
6.1. Eindringkörpermethoden
6.2. Ritzhärteprüfmethoden
6.3. Zerstörungsfreie Härteprüfverfahren
7. Porositätsbestimmung
7.1. Chemische und elektrochemische Verfahren
7.2. Physikalische Verfahren
8. Dichtebestimmung
8.1. Begriffsbestimmung
8.2. Messverfahren
9. Temperaturmessung
9.1 Temperaturskalen
9.2. Berührungsthermometer
9.3. Strahlungsthermometer
9.4. Probleme der Temperaturbestimmung
10. Druckmessung
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participationVorlesungsskript
Tafel / Whiteboard
Computer Demo
literature / references- Nitzsche, H.: Schichtmeßtechnik, Würzburg: Vogel, 1997
- Herrmann, D.: Schichtdickenmessung, München, Wien: Oldenbourg, 1993
- Moderne Beschichtungsverfahren .- 2. neubearb. Aufl. (Herausg. H.-D. Steffens, J. Wilden). Oberursel: DGM Informationsgesellschaft, 1996
- Werkstoffprüfung (Herausg.: H. Blumenauer), 6. Aufl. Stuttgart: Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, 1994
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details reference subject
module nameThin Films Technology and Thin Film Analysis
examination number2100274
credit points2
SWS2
on-campus program (h)22.5
self-study (h)37.5
obligationobligatory module
examwritten pass-fail certificate, 90 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in degree program Bachelor Werkstoffwissenschaft 2009, Bachelor Werkstoffwissenschaft 2011
module nameThin Films Technology and Thin Film Analysis
examination number2100274
credit points2
on-campus program (h)22
self-study (h)38
obligationelective module
examwritten pass-fail certificate, 90 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants