Technische Universität Ilmenau

Vacuum Plasma Technology - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 6707 - common information
subject number6707
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2173 (Plasma- und Oberflächentechnik)
subject leader Dr. Birger Dzur
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceGrundlagen der Werkstoffwissenschaft 1-4
learning outcomeDie Studierenden kennen die Besonderheiten von nichtthermischen Gasentladungen im Vakuum, Möglichkeiten der Generierung derartiger Plasmen und ausgewählte Verfahren der Nierdertemperatur-Plasmatechnik, insbesondere der Dünnschichttechnik.
Sie sind in der Lage, die Anwendbarkeit dieser Verfahren auf eine gegebene Aufgabenstellung zu beurteilen bzw. geeignete technologische Konzepte auszuwählen.
contentVakuumerzeugung und Messung
Besonderheiten von Gasentladungen im Niederdruck
Niederdruckentladungen
Glimmentladung
kapazitiv/induktiv gekoppelte HF-Entladungen
Mikrowellenentladungen
Anwendungen der Glimmentladung
Plasmadiffusionsverfahren
PA-PVD und -CVD
Beleuchtungstechnik
Anwendungen von HF- und μW-Plasmen
Sputtern, Ätzen, Beschichten
Dielektrisch behinderte Entladungen (Barriereentladungen)
Oberflächenmodifikation
Ozonerzeugung
Kopierer und Laserdrucker
Plasma-TV-Technologie
Ionenstrahlverfahren
Erzeugung und Wirkung auf Oberflächen
Aktivieren, Sputtern, Beschichten, Implantieren
Satellitentriebwerke
media of instructionVorlesungsskript Tafel / Whiteboard
Folien Computer Demo
literature / references- Hippler et al: Low Temperature Plasma Physics-Fundamental Aspects and Applications; Wiley VCH Verlag, 2001
- Frey: Dünnschichttechnologie; VDI-Verlag Düsseldorf, 1987
- Dresvin et al: Physics and Technology of Low-Temperature Plasmas; Iowa State University Press/AMES, 1977
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Bachelor Werkstoffwissenschaft 2009, Bachelor Werkstoffwissenschaft 2011
subject nameVacuum Plasma Technology
examination number2100271
credit points2
on-campus program (h)22
self-study (h)38
Obligationobligatory elective
examalternative pass-fail certificate, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

maximum number of participants