Technische Universität Ilmenau

Niederdruckbeschichtungsverfahren - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 6939 - allgemeine Informationen
Fachnummer6939
Fakultät
Fachgebietsnummer2173 (Plasma- und Oberflächentechnik)
Fachverantwortliche(r) Dr. Birger Dzur
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseMathematik und Physik für Ingenieure, Grundlagen
der Elektrotechnik, Grundlagen der
Oberflächentechnik (BA), Oberflächentechnik (MSc)
Lernergebnisse• Die Studenten verstehen die physikalischen und
technischen Prinzipien der Vakuumerzeugung
und -messung. Sie beherrschen die Grundlagen
der Plasmagenerierung, die Grundformen von
Plasmen im Vakuum, sowie den Aufbau und die
Funktionsweise verschiedener technischer
Plasmaerzeuger Sie verstehen die Mechanismen
der Schichtbildung und die beeinflssenden
Verfahensparameter zur Erzeugung dünner
Schichten. Sie haben einen Überblick über die
wichtigsten Anwendungen von Niederdruck-
Plasmen in der Werkstoff- und
Oberflächentechnik.
• Dieses Wissen befähigt die Studenten,
plasmatechnologische Konzepte für eine
gegebene Aufgabenstellung auszuwählen und zu
beurteilen
InhaltKapitel 0: Grundlagen des Vakuums
Vakuumerzeugung, -eigenschaften und -messung
Kapitel 1: Plasmagenerierung im Vakuum
Ladungsträgererzeugung im Vakuum, Niederdruck-
Durchschlag. Eigenschaften des Niederdruck-
Plasmas
Kapitel 2: PVD- und CVD-Prozesse
Grundlagen, Verfahren, Schichtbildung,
Zonenmodelle
Kapitel 3: Glimmentladungen
Aufbau und technische Erzeugung, Anwendungen
(PVD, CVD, Plasmadiffusionsverfahren)
Kapitel 4: HF-Plasmen
kapazitiv und induktiv gekoppelte HF-Plasmen,
Anwendungen zur Oberflächenstrukturierung und
Beschichtung
Kapitel 5: Mikrowellen-Plasmen
Generierun, Aufbau von Magnetrons,
Anwendungen
Kapitel 6: Ionenstrahlverfahren
Wirkung vbn Ionen auf Festkörper, Ionenquellen,
Ionenstrahlanlagen, Anwendungen (Aktivieren,
Beschichten, Sputern, Imlantieren)
Kapitel 7: Dielektrisch behinderte Entladungen
Prinzip der gereierung, Anordnunen, Anwendungen
(Aktivierung, Obeflächenmodofikation, Beschichten)
MedienformenVorlesungsskript
Folien
Literatur- Hippler et al: Low Temperature Plasma Physics-
Fundamental Aspects and Applications; Wiley
VCH Verlag, 2001
- H. Frey: Dünnschichttechnologie; VDI-Verlag
Düsseldorf, 1987; Dresvin et al: Physics and
Technology of Low-Temperature Plasmas; Iowa
State University Press/AMES, 1977
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2011
FachnameNiederdruckbeschichtungsverfahren
Prüfungsnummer2100337
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Werkstoffwissenschaft 2010
FachnameNiederdruckbeschichtungsverfahren
Prüfungsnummer2100337
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.