Technische Universität Ilmenau

Micro system technology - Modultafeln of TU Ilmenau

The Modultafeln have a pure informational character. The legally binding information can be found in the corresponding Studienplan and Modulhandbuch, which are served on the pages of the course offers. Please also pay attention to this legal advice (german only). Information on place and time of the actual lectures is served in the Vorlesungsverzeichnis.

module properties 100242 - common information
module number100242
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group 2342 (Micromechanical Systems Group)
module leaderProf. Dr. Steffen Strehle
requirements
learning outcome

Die Studierenden können die Technik der Skalierung anwenden und sind in der Lage, die Auswirkungen einer Vergrößerung / Verkleinerung auf einen physikalischen Zusammenhang einzuschätzen.  Sie kennen die Grundlagen der Kennzahlen. Ihnen gelingt es, eigenständig beliebige Prinzipien gegeneinander abzuwägen und den System-Skalierungsfaktor eines technischen Systems zu abzuschätzen.


Die Studierenden kennen die wichtigsten Materialien und Prinzipien der Dünnschichttechnik, sowohl als beschichtende als auch als strukturierende Verfahren. Sie können die unterschiedlichen Verfahren einordnen. Sie sind in der Lage, einen einfachen Prozessablauf aufzustellen und können geeignete Prozessschritte auswählen. 

Details in major Bachelor Mechatronik 2013
module nameMicro system technology
credit points5
Obligationobligatory
certificate of the module Individual achievements or exams
details of the certificate
Details in major polyvalenter Bachelor Polyvalenter Bachelor mit Lehramtsoption für berufsbildende Schulen - Metalltechnik 2013 (MR), polyvalenter Bachelor Polyvalenter Bachelor mit Lehramtsoption für berufsbildende Schulen - Elektrotechnik 2013 (MR)
module nameMikrosystemtechnik
credit points5
Obligationobligatory
certificate of the module Individual achievements or exams
details of the certificate