Technische Universität Ilmenau

Mikrotechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis.
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Fachinformationen zu Fachnummer 100478 - allgemeine Informationen
Fachnummer100478
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2342 (Mikrosystemtechnik)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
SpracheDeutsch, auf Nachfrage Englisch
TurnusWintersemester
Vorkenntnisse

Gute Kenntnisse der Physik

Lernergebnisse

Die Studierenden sind in der Lage die Mikrosystemtechnik in die Technologien der Mechatronik und des Maschinenbaus einzuordnen und können selbständig die Systemskalierung eines Mikrosystems ermitteln. Sie analysieren und bewerten Fertigungsprozesse und sind in der Lage, einfache Prozessabläufe selbst aufzustellen. Sie können gegebene Anwendungsbeispiele einordnen und neue Applikationen daraus gezielt ableiten.

Inhalt
  • Einsatzgebiete von Mikrosystemen
  • Skalierung & Multi-Domänenansatz beim Übergang zum Mikrosystem sowie dominante Effekte in der Mikrotechnik
  • Grundlagen zu Werkstoffen der Mikrosystemtechnik
  • Typische Mikrotechnik-Fertigung am Beispiel eines Drucksensors
  • Wichtige Technologien der Mikrotechnik: Beschichtungsverfahren, Lithografie, Strukturierungsverfahren
  • Systemintegration am Beispiel von Projektionsspiegel-Arrays (DMD) und Drehratensensor
  • Entwicklung der Mikrosystemtechnik, System-Skalierung und Auswirkungen auf Bauelemente-Design und Technologie, Werkstoffe, Planartechnik, Dünnschicht-Technik, Mikrolithografie, Aufbau- und Verbindungstechnik, Applikationsbeispiele
Medienformen

Präsentation, Tafel, Skript bestehend aus den Folien der Präsentation

Literatur

M. Elwenspoek, H.V. Jansen "Silicon Micromachining", Cambridge Univ. Press 1998;

G. Gerlach, W. Dötzel "Grundlagen der Mikrosystemtechnik", Hanser Verlag 1997;

W.Menz, P.Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH-Verlag Weinheim 1993

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2012 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Bachelor Technische Physik 2013, Master Biotechnische Chemie 2016
FachnameMikrotechnik
Prüfungsnummer2300432
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)75
VerpflichtungPflicht
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Miniaturisierte Biotechnologie 2009
FachnameMikrotechnik
Prüfungsnummer2300340
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)75
VerpflichtungPflicht
Abschlusskeiner
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.