Technische Universität Ilmenau

Microsystem Technologies 1 - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 1607 - common information
subject number1607
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group2342 (Micromechanical Systems Group)
subject leaderProf. Dr. Steffen Strehle
languageDeutsch
term Sommersemester
previous knowledge and experienceGute Kenntnisse der Physik
learning outcome

Die Studierenden sind in der Lage die Mikrosystemtechnik in die Technologien der Mechatronik und des Maschinenbaus einzuordnen. Sie analysieren und bewerten Fertigungsprozesse und sind in der Lage, einfache Prozessabläufe selbst aufzustellen.

Sie können selbständig die Systemskalierung eines technischen Systems ermitteln. Sie können gegebene Anwendungsbeispiele einordnen und neue Applikationen daraus gezielt synthetisieren.

content

Das Prinzip der Skalierung

Skalierung physikalischer Gesetze

- Anwendung des Skalierungsfaktors

Skalierung von Materialeigenschaften

- Mikro- und Nanokristallinität

- Rand- und Oberflächeneffekte

Systemeinflüsse

- systemische Betrachtungen an ausgewählten Beispielen

Materialien der Dünnschichttechnik und ihre Eigenschaften

- Silicium als mechanisches Material

- Leitende, isolierende und halbleitende Dünnschichten

Grundlagen der Dünnschichttechnik

- Reinraumtechnik

- Vakuum & Freie Weglänge

- nicht-thermisches Plasma

Umwandelnde Verfahren

- thermische Oxidation

Beschichtende Verfahren

- Physikalische Gasphasenabscheidung

- Chemische Gasphasenabscheidung

Fotolithografie

Ätzverfahren

- Trockenätzverfahren

- Ionenstrahl-Verfahren

media of instruction

Präsentation & Tafel

Foliensatz der Präsentation (kein vollständiges Skript!)

literature / references

G. Gerlach, W. Dötzel: Einführung in die Mikrosystemtechnik - Ein Kursbuch für Studierende, Hanser-Verlag 2006 (auch in Englisch verfügbar als "Introduction to Miicrosystem Technology", Wiley 2008)

M. Elwenspoek, H.V. Jansen "Silicon Micromachining", Cambridge Univ. Press 1998;

W.Menz, P.Bley "Mikrosystemtechnik für Ingenieure", VCH-Verlag Weinheim 1993

evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

SS 2017 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

SS 2017

Details in major Master Micro- and Nanotechnologies 2013, Master Optische Systemtechnik/Optronik 2017
subject nameMicrosystem Technologies 1
examination number2300031
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2017 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:


SS 2017

maximum number of participants
Details in major Master Optische Systemtechnik/Optronik 2014
subject nameMicrosystem Technologies 1
examination number2300031
credit points4
on-campus program (h)22
self-study (h)98
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2017 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:


SS 2017

maximum number of participants
Details in major Bachelor Maschinenbau 2013
subject nameMicrosystem Technologies 1
examination number2300031
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2017 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:


SS 2017

maximum number of participants
Details in major Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009 (MB), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2009, Master Wirtschaftsingenieurwesen 2010 (MB), Master Wirtschaftsingenieurwesen 2010, Master Wirtschaftsingenieurwesen 2011 (MB)
subject nameMicrosystem Technologies 1
examination number2300031
credit points2
on-campus program (h)22
self-study (h)38
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2017 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:


SS 2017

maximum number of participants
Details in major Bachelor Technische Physik 2011
subject nameMicrosystem Technologies 1
examination number2300031
credit points3
on-campus program (h)34
self-study (h)56
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2017 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:


SS 2017

maximum number of participants
Details in major Master Optronik 2010
subject nameMicrosystem Technologies 1
examination number2300031
credit points3
on-campus program (h)22
self-study (h)68
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2017 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:


SS 2017

maximum number of participants
Details in major polyvalenter Bachelor Polyvalenter Bachelor mit Lehramtsoption für berufsbildende Schulen - Metalltechnik 2008 (MR), polyvalenter Bachelor Polyvalenter Bachelor mit Lehramtsoption für berufsbildende Schulen - Elektrotechnik 2008 (MR), Bachelor Mechatronik 2008, Master Optronik 2008, Bachelor Maschinenbau 2008
subject nameMicrosystem Technologies 1
examination number2300031
credit points3
on-campus program (h)22
self-study (h)68
Obligationobligatory
examwritten examination performance, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2017 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:


SS 2017

maximum number of participants