Technische Universität Ilmenau

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 5984 - common information
subject number5984
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group2342 (Micromechanical Systems Group)
subject leaderProf. Dr. Steffen Strehle
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceGrundlagen-Kenntnisse in Mikrotechnik, Mikrosensorik und / oder Mikroaktorik
learning outcomeEs werden die systemspezifischen Randbedingungen für den Einsatz von MEMS diskutiert. Hierzu gehören insbesondere Zuverlässigkeitsanforderungen, Schnittstellen zur Makrowelt und Aufbau- und Verbindungstechniken. Dies geschieht an Beispielen von in unterschiedlichen Bereichen bereits kommerziell eingesetzten MEMS- Applikationen wie z.B. Drucksensoren oder Drehratensensoren.
Die Studenten sollen in die Lage versetzt werden, neue Mikrosysteme anhand von Anforderungsprofilen zu planen und dabei ungeeignete Ansätze bereits frühzeitig auszusortieren.
content- Applikationsfelder von MEMS
- Randbedingungen für MEMS
- Zuverlässigkeitsanforderungen
- System-Konzepte:
- mikromechansicher Sensor & Auswerteelektronik
- Gehäuse als Systembestandteil
- Kalibrierkonzepte:
- Abgleich über die Auswerteelektronik
- Beispiele
- Zusammenfassung: Systemaspekte von MEMS
media of instructionPräsentation, Skript der Präsentationsfolien, Tafelarbeit
Seminar: Präsentation / schriftliche Zusammenfassung durch Teilnehmende
literature / referencesG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser-Verlag 2006
F. Völklein, T. Zetterer, Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage, Vieweg 2006
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

SS 2015 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Master Mechatronik 2008, Master Micro- and Nanotechnologies 2008, Master Maschinenbau 2009, Master Maschinenbau 2011, Master Mechatronik 2014, Master Mechatronik 2017
subject nameMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
examination number2300216
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory
examwritten examination performance, 120 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2015 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:

maximum number of participants
Details in major Master Maschinenbau 2014, Master Micro- and Nanotechnologies 2016, Master Maschinenbau 2017
subject nameMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
examination number2300216
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examwritten examination performance, 120 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


SS 2015 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:

maximum number of participants