Technische Universität Ilmenau

Technologien der Mikromechanik - Modultafeln of TU Ilmenau

The Modultafeln have a pure informational character. The legally binding information can be found in the corresponding Studienplan and Modulhandbuch, which are served on the pages of the course offers. Please also pay attention to this legal advice (german only). Information on place and time of the actual lectures is served in the Vorlesungsverzeichnis.

subject properties subject number 5997 - common information
subject number5997
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group2342 (Micromechanical Systems Group)
subject leaderProf. Dr. Steffen Strehle
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceBachelor-Abschluss (Ingenieur- oder Naturwissenschaften)
learning outcomeDie Studenten erlangen vertiefte Kenntnisse über spezielle Verfahren und Materialien für mikromechanische Systeme. Sie können Herstellungsprozesse von mikromechanischen Komponenten analysieren und bewerten. Sie sind in der Lage, Prozessketten zur Herstellung neuer Komponenten zu konzipieren.
contentIn der Lehrveranstaltung werden vertiefend spezielle technologische Aspekte der Mikromechanik behandelt. Schwerpunkt bilden spezielle Verfahren und Verfahrenskomplexe mit industrieller Relevanz.
- spezielle Verfahren der Oberflächenmikromechanik
- spezielle Verfahren der Volumenmikromechanik
- halbleiterkompatible Technologien für integrierte Mikromechanik
- Foundry-Prozesse
- Ultrapräzisionsbearbeitungsverfahren
- Elektrochemische Verfahren
- Laserverfahren
- Replikationsverfahren
media of instructionVorlesung, Tafel, Beamer
literature / references[1] G. Gerlach, W. Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Fachbuchverlag Leipzig 1996 (79 ELT 97 A 21467)
[2] M. Elwenspoek, H.V. Jansen: Silicon Micromachining. Cambridge University Press 2004 (69 ELT ZN 4980 E52)
[3] M. Madou: Fundamentals of microfabrication. Crc Press 2001 (69 ELT 98 A 1670)
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ATTENTION: not offered anymore
subject nameTechnologien der Mikromechanik
examination number2300285
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examwritten pass-fail certificate, 90 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

maximum number of participants