Technische Universit├Ąt Ilmenau

Glasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 6692 - common information
subject number6692
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group2351 (Group for Inorganic-Nonmetallic Materials)
subject leaderProf. Dr. Edda R├Ądlein
languagedeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experience

Grundlagen der WSW, Physik, Chemie, Fertigungstechnik

learning outcome

Ziel der Lehrveranstaltung ist das Erwerben von Kenntnissen zur Bewertung:

  • von Gläsern und Keramiken hinsichtlich Mikro- und Nanostrukturierbarkeit sowie die technischen Prozessen der MNT
  • wichtiger Eigenschaften von Gläsern und Keramiken für Mikro- und Nanosysteme
  • der Unterschied zwischen Oberflächen- und Volumeneigenschaften
  • Grundlegender Mikro- und Nanostrukturierungstechniken für Gläser und Keramiken
  • spezieller Eigenschaften mikro-und nanostrukturierten Bauteilen auf Basis ausgewählter Applikationsbeispielen
content

Aufbau und Verbindungstechnik

  • Technische und stoffliche Voraussetzungen (Struktur-Eigenschaftsbeziehungen in Gläsern und Keramiken, Übersicht über Strukturierungstechniken, Methoden zur Beeinflussung von Eigenschaftsprofilen)
  • Substratmaterialien (Dünnglas, HTCC, LTCC: Werkstoffe, Eigenschaften und Herstellung)
  • Kieselglas für thermische und optische Anwendungen (Struktur, Herstellung über Schmelzprozess, Gasphasenabscheidung, SolGel-Technik)
  • Lithographiebasierte Strukturierungstechniken für Glas (Beschichtungen, Fotolithographie, nasschemische und Trockenätzprozesse)
  • Fotostrukturierbare Gläser (Werkstoffe, Eigenschaften, Herstellung und Prozessierung, Anwendungen)
  • Mechanische Verfahren zur geordneten Mikrostrukturierung von Glas (Schleifen, Polieren, US-Bohren, Sandstrahlen)
  • Ausgewählte Techniken der Laserbearbeitung von Glas (Wechselwirkung Material-Strahlung, Techniken zur Markierung, zum Materialabtrag)

 

media of instruction

Tafelbild, Anschauungsmuster, PowerPoint, Versuchsstände Labor

literature / references
  • Gerlach; G., Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl Hanser-Verlag 1997
  • Menz, W.; Bley, P.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. VHC 1993
  • Petzold, A.: Anorganisch nichtmetallische Werkstoffe. Deutscher Verlag für Grundstoffindustrie, Leipzig, 1986
  • Scholze, H.: Glas. 3. neu bearb. Auflage, Springer-Verlag 1988
  • Mitschke, F.: Glasfasern, Elsevier, 2005
  • Hülsenberg, D. e.a: Microstructuring of Glasses. Springer 2008
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Master Regenerative Energietechnik 2016
subject nameGlasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies
examination number2300316
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
Obligationobligatory elective
examoral pass-fail certificate, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

maximum number of participants
Details in major Master Werkstoffwissenschaft 2013
subject nameGlasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies
examination number2300493
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
Obligationobligatory elective
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in major Bachelor Werkstoffwissenschaft 2009, Bachelor Werkstoffwissenschaft 2011
subject nameGlasses and Ceramics in Micro- and Nanotechnologies
examination number2300316
credit points3
on-campus program (h)34
self-study (h)56
Obligationobligatory elective
examoral pass-fail certificate, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

maximum number of participants