Technische Universität Ilmenau

Design of Microsystems - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 7409 - common information
subject number7409
departmentDepartment of Mechanical Engineering
ID of group2342 (Micromechanical Systems Group)
subject leaderProf. Dr. Steffen Strehle
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceerfolgreicher Abschluss von Mikrotechnik 1; vorzugsweise paralleles Hören von "MEMS"
learning outcomeDas Faszinierende an Mikrosystemen ist neben der Miniaturisierung, dass die einzelnen Funktionskomponenten zumeist unterschiedlichen physikalischen Domänen angehören, die miteinander stark verkoppelt sind. Mikrosysteme sind daher nicht einfach nur durch das Verkleinern bekannter Makrosysteme zu erreichen: vielmehr ist ein aufwendiger Entwurfs- und Konstruktionsprozess erforderlich, damit die miniaturisierten Systeme die gewünschten Funktionen erfüllen. Ziel der Vorlesung ist, das Verständnis über den Entwurfs- und Konstruktionsprozess von Mikrosystemen zu gewinnen. Dazu gehört die Heranführung an die Funktions- und Konstruktionsprinzipien im Mikrobereich sowie die Erklärung der wichtigsten Designschritte unter dem Aspekt der Mikrotechnik. Darüber hinaus spielt die Modellierung von Systemen eine wichtige Rolle. Insbesondere Netzwerkmodelle unterschiedlicher physikalischer Domänen werden untersucht.
content
  • Einführung
  • Grundlagen des Entwurfs für die MT
  • Funktionsgruppen und Formelemente
  • Masken und Maskendesign
  • Modellierung von Bauelementen und Einsatz der Simulation zur Parameter- und Prozessoptimierung
  • Modularer Entwurf von Mikrosystemen, Design von Schnittstellen unter Berücksichtigung von elektronischen, thermischen, mechanischen, optischen und fluidischen Parametern sowie den speziellen Anforderungen bei der Handhabung von Biomolekülen und Zellen

 

media of instructionSkript mit allen Folien, die im Verlauf der Vorlesung verwendet werden.
literature / referencesM. Kasper, Mikrosystementwurf - Enwurf und Simulation von Mikrosystemen, Springer, 2000
S. D. Senturia, Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

WS 2009/10 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Master Mechatronik 2008, Master Micro- and Nanotechnologies 2013, Master Mechatronik 2014
ATTENTION: not offered anymore
subject nameDesign of Microsystems
examination number2300225
credit points4
on-campus program (h)34
self-study (h)86
Obligationobligatory elective
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
Signup details for alternative examinations

Pflichtevaluation:


WS 2009/10 (Fach)


Freiwillige Evaluation:


Hospitation:

maximum number of participants