Technische Universität Ilmenau

Technologien der Mikromechanik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 5997 - allgemeine Informationen
Modulnummer5997
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseBachelor-Abschluss (Ingenieur- oder Naturwissenschaften)
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDie Studenten erlangen vertiefte Kenntnisse über spezielle Verfahren und Materialien für mikromechanische Systeme. Sie können Herstellungsprozesse von mikromechanischen Komponenten analysieren und bewerten. Sie sind in der Lage, Prozessketten zur Herstellung neuer Komponenten zu konzipieren.
InhaltIn der Lehrveranstaltung werden vertiefend spezielle technologische Aspekte der Mikromechanik behandelt. Schwerpunkt bilden spezielle Verfahren und Verfahrenskomplexe mit industrieller Relevanz.
- spezielle Verfahren der Oberflächenmikromechanik
- spezielle Verfahren der Volumenmikromechanik
- halbleiterkompatible Technologien für integrierte Mikromechanik
- Foundry-Prozesse
- Ultrapräzisionsbearbeitungsverfahren
- Elektrochemische Verfahren
- Laserverfahren
- Replikationsverfahren
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer FormVorlesung, Tafel, Beamer
Literatur[1] G. Gerlach, W. Dötzel: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Fachbuchverlag Leipzig 1996 (79 ELT 97 A 21467)
[2] M. Elwenspoek, H.V. Jansen: Silicon Micromachining. Cambridge University Press 2004 (69 ELT ZN 4980 E52)
[3] M. Madou: Fundamentals of microfabrication. Crc Press 2001 (69 ELT 98 A 1670)
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik Referenzmodul
ModulnameTechnologien der Mikromechanik
Prüfungsnummer2300285
Leistungspunkte4
SWS3
Präsenzstudium (h)33.75
Selbststudium (h)86.25
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Studienleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
ModulnameTechnologien der Mikromechanik
Prüfungsnummer2300285
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Studienleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl