Technische Universität Ilmenau

Mikro- und nanostrukturierte Gläser - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 6932 - allgemeine Informationen
Modulnummer6932
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2351 (Anorganisch-nichtmetallische Werkstoffe)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Edda Rädlein
SpracheDeutsch
TurnusSommersemester
Vorkenntnisse- Physik, Chemie, Fertigungstechnik
- Grundlagen der Werkstoffwissenschaften (BA)
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenFachkompetenz 70 %: Die Studierenden sind in der Lage, Werkstoffe und Bearbeitungsverfahren der Mikrotechnik für Anwendungen im Mechatronikbereich für unterschiedliche Gläser systematisch anzuwenden. Vertiefte Kenntnisse von Struktur- / Eigenschaftsbeziehungen ermöglichen die Analyse von Fertigungsprozessen und die Ableitung von Applikationen.
Methodenkompetenz 20 %: Qualitätssicherung, systematische Entwicklung von Produkten, ökologische Technikbewertung
Systemkompetenz 5 %: fachübergreifendes Denken
Sozialkompetenz 5 %: Lernvermögen im Kollektiv, Flexibilität
Inhalt- Begriffe, Begriffshirarchie der MST
- Anforderungen der Fertigung mikrotechnischer Komponenten
- Applikationen (Substrate, mechanische und optische Sensoren, Fluidikbauteile)
- Technische und stoffliche Voraussetzungen
- Ausgewählte werkstoffliche Grundlagen (Struktur-Eigenschaftsbeziehungen, Kristallisation von Gläsern)
- Einteilung Strukturierungsverfahren
- Lithographiebasierend Verfahren
- Beschichtungsprozesse
- Ätzprozesse
- Mechanische Verfahren
- Laserstrahlverfahren
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer Formpowerpoint-Folien
Literatur[1] D. Hülsenberg et. al.: Microstructurieng of Glasses. Springer-Verlag Berlin-Heidelberg, 2008
[2] W. Vogel: Glaschemie. 3. Auflage, Springerverlag, 1992
[3] G. Gerlach: Einführung in die Mikrosystemtechnik. Carl-Hanser Verlag, 2006
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik Referenzmodul
ModulnameMikro- und nanostrukturierte Gläser
Prüfungsnummer2300337
Leistungspunkte4
SWS3
Präsenzstudium (h)33.75
Selbststudium (h)86.25
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
ModulnameMikro- und nanostrukturierte Gläser
Prüfungsnummer2300337
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl