Technische Universität Ilmenau

Design von Mikrosystemen - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 7409 - allgemeine Informationen
Modulnummer7409
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
Vorkenntnisseerfolgreicher Abschluss von Mikrotechnik 1; vorzugsweise paralleles Hören von "MEMS"
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDas Faszinierende an Mikrosystemen ist neben der Miniaturisierung, dass die einzelnen Funktionskomponenten zumeist unterschiedlichen physikalischen Domänen angehören, die miteinander stark verkoppelt sind. Mikrosysteme sind daher nicht einfach nur durch das Verkleinern bekannter Makrosysteme zu erreichen: vielmehr ist ein aufwendiger Entwurfs- und Konstruktionsprozess erforderlich, damit die miniaturisierten Systeme die gewünschten Funktionen erfüllen. Ziel der Vorlesung ist, das Verständnis über den Entwurfs- und Konstruktionsprozess von Mikrosystemen zu gewinnen. Dazu gehört die Heranführung an die Funktions- und Konstruktionsprinzipien im Mikrobereich sowie die Erklärung der wichtigsten Designschritte unter dem Aspekt der Mikrotechnik. Darüber hinaus spielt die Modellierung von Systemen eine wichtige Rolle. Insbesondere Netzwerkmodelle unterschiedlicher physikalischer Domänen werden untersucht.
Inhalt
  • Einführung
  • Grundlagen des Entwurfs für die MT
  • Funktionsgruppen und Formelemente
  • Masken und Maskendesign
  • Modellierung von Bauelementen und Einsatz der Simulation zur Parameter- und Prozessoptimierung
  • Modularer Entwurf von Mikrosystemen, Design von Schnittstellen unter Berücksichtigung von elektronischen, thermischen, mechanischen, optischen und fluidischen Parametern sowie den speziellen Anforderungen bei der Handhabung von Biomolekülen und Zellen

 

Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer FormSkript mit allen Folien, die im Verlauf der Vorlesung verwendet werden.
LiteraturM. Kasper, Mikrosystementwurf - Enwurf und Simulation von Mikrosystemen, Springer, 2000
S. D. Senturia, Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

WS 2009/10 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik Referenzmodul
ModulnameDesign von Mikrosystemen
Prüfungsnummer2300225
Leistungspunkte4
SWS3
Präsenzstudium (h)33.75
Selbststudium (h)86.25
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Mechatronik 2008, Master Mechatronik 2014
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
ModulnameDesign von Mikrosystemen
Prüfungsnummer2300225
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl