Technische Universität Ilmenau

Mikromesstechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 7422 - allgemeine Informationen
Modulnummer7422
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
SpracheDeutsch
TurnusSommersemester
VorkenntnissePhysik,
Grundlagen Elektrotechnik,
Grundkenntnisse Mikrosystemtechnik
Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDie Studierenden sind in der Lage, messtechnische Verfahren für die Mikrosystemtechnik zu konzipieren, zu bewerten und einzusetzen, sowie bekannte Verfahren auf neue Aufgabenstellungen anzuwenden und neue Verfahren zu synthetisieren.
InhaltMessung von Materialeigenschaften
- Schichtmesstechnik (Tastschrittverfahren, elektrische Verfahren, Interferenzverfahren, Ellipsometrie)
- Oberflächenanalytik (Photoelektronenspektroskopie, Elektronenstrahlspektroskopie, Topographie von kristallinen Strukturen)
Messung mechanisch-physikalischer Eigenschaften
(Mikrohärteprüfung, Haftfestigkeit, Messung mechanischer Spannungen)
Funktionelle Messungen
Statische Messungen (Mikroskopie, Stereomikroskopie, konfokale Mikroskopie, Kameramesstechnik, Automatische Bildverarbeitung)
Dynamische Messungen (Laserscan-Aufnahmesysteme, Faseroptiksysteme, Hochgeschwindigkeitskamerasysteme, Bildaufnahme/Auswertung mit Kurzzeitbelichtung)
MedienformenTafel, Overhead Folien, Power-Point-Präsentationen
Literatur[1] Büttgenbach, S.: Mikromechanik, Einführung in Technologie und Anwendungen. Teubner Verlag 1994
[2] Gerlach, G.; Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Carl-Hanser Verlag 1997
[3] Wilkening, G.; Koenders, L.: Nanoscale Calibration Standards and Methods. Wiley-VCH Verlag 2005
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik Referenzmodul
ModulnameMikromesstechnik
Prüfungsnummer2300237
Leistungspunkte4
SWS3
Präsenzstudium (h)33.75
Selbststudium (h)86.25
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Mechatronik 2008, Master Mechatronik 2014
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
ModulnameMikromesstechnik
Prüfungsnummer2300237
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl