Technische Universität Ilmenau

Mikrosensorik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modulbeschreibungen durch die Modulverantwortlichen finden Sie unter Modulpflege.

Hinweise zu fehlenden oder fehlerhaften Modulbeschreibungen senden Sie bitte direkt an modulkatalog@tu-ilmenau.de.

Modulinformationen zu Modulnummer 7423 - allgemeine Informationen
Modulnummer7423
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2342 (Mikrosystemtechnik)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Steffen Strehle
SpracheDeutsch
TurnusSommersemester
Vorkenntnisse

Mikrotechnik 1

Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDie Studierenden werden befähigt, geeignete Mikrosensoren auszuwählen, indem sie die unterschiedlichen Konzepte und besonderen Ansätze mikrosystemtechnischer Sensoren kennenlernen. Dabei werden insbesondere auch die Unterschiede zu "makroskopischen" Sensoren vermittelt und neue, zum Teil "unscharfe" Messverfahren vorgestellt, so dass sie von den Studierenden angewandt werden können.
InhaltDie Vorlesung stellt Konzepte und Realisierungen von Mikrosensoren für unterschiedlichste Messgrößen vor. Daneben werden wesentliche Wandlerkonzepte unter Betrachtung der mikrosystemtechnischen Randbedingungen beschrieben: Widerstandsbrücken; Kapazitive Wandler; Dehnmessstreiben
Anwendungsfelder:
Messung von Kraft, Beschleunigung und Druck (Airbag-Sensor, Drucksensor etc.)
Messung thermischer Größen (Thermopile, Luftmassensensor, Neigungssensor)
Chemische Sensoren für Gase und Fluide (inkl. künstlicher Nase)
Sensoren für biologische Systeme
Medienformen und technische Anforderungen bei Lehr- und Abschlussleistungen in elektronischer FormEin Skript mit allen im Verlauf der Vorlesung verwendeten Folien ist verfügbar.
LiteraturG. Gerlach, W. Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, 2006
J. Gardner, V.K. Varadan, O.O. Awadelkarim, Microsensors, MEMS and Smart Devices, Wiley, 2005
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik Referenzmodul
ModulnameMikrosensorik
Prüfungsnummer2300238
Leistungspunkte4
SWS3
Präsenzstudium (h)33.75
Selbststudium (h)86.25
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen

nach Vereinbarung

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Mechatronik 2008, Master Mechatronik 2014
ModulnameMikrosensorik
Prüfungsnummer2300238
Leistungspunkte3
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)68
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen

nach Vereinbarung

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Maschinenbau 2014
ModulnameMikrosensorik
Prüfungsnummer2300238
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)22
Selbststudium (h)98
VerpflichtungWahlmodul
Abschlussschriftliche Prüfungsleistung, 90 Minuten
Details zum Abschluss
Alternative Abschlussform aufgrund verordneter Corona-Maßnahmen inkl. technischer Voraussetzungen

nach Vereinbarung

Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl