Technische Universität Ilmenau

Mikro- und nanostrukturierte Gläser - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 6932 - allgemeine Informationen
Fachnummer6932
FakultätFakultät für Maschinenbau
Fachgebietsnummer2351 (Anorganisch-nichtmetallische Werkstoffe)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Edda Rädlein
SpracheDeutsch
TurnusSommersemester
Vorkenntnisse- Physik, Chemie, Fertigungstechnik
- Grundlagen der Werkstoffwissenschaften (BA)
LernergebnisseFachkompetenz 70 %: Die Studierenden sind in der Lage, Werkstoffe und Bearbeitungsverfahren der Mikrotechnik für Anwendungen im Mechatronikbereich für unterschiedliche Gläser systematisch anzuwenden. Vertiefte Kenntnisse von Struktur- / Eigenschaftsbeziehungen ermöglichen die Analyse von Fertigungsprozessen und die Ableitung von Applikationen.
Methodenkompetenz 20 %: Qualitätssicherung, systematische Entwicklung von Produkten, ökologische Technikbewertung
Systemkompetenz 5 %: fachübergreifendes Denken
Sozialkompetenz 5 %: Lernvermögen im Kollektiv, Flexibilität
Inhalt- Begriffe, Begriffshirarchie der MST
- Anforderungen der Fertigung mikrotechnischer Komponenten
- Applikationen (Substrate, mechanische und optische Sensoren, Fluidikbauteile)
- Technische und stoffliche Voraussetzungen
- Ausgewählte werkstoffliche Grundlagen (Struktur-Eigenschaftsbeziehungen, Kristallisation von Gläsern)
- Einteilung Strukturierungsverfahren
- Lithographiebasierend Verfahren
- Beschichtungsprozesse
- Ätzprozesse
- Mechanische Verfahren
- Laserstrahlverfahren
Medienformenpowerpoint-Folien
Literatur[1] D. Hülsenberg et. al.: Microstructurieng of Glasses. Springer-Verlag Berlin-Heidelberg, 2008
[2] W. Vogel: Glaschemie. 3. Auflage, Springerverlag, 1992
[3] G. Gerlach: Einführung in die Mikrosystemtechnik. Carl-Hanser Verlag, 2006
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Micro- and Nanotechnologies 2008, Master Werkstoffwissenschaft 2010, Master Werkstoffwissenschaft 2011
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameMikro- und nanostrukturierte Gläser
Prüfungsnummer2300337
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)34
Selbststudium (h)86
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.