Technische Universität Ilmenau

Excursion and Basic Laboratory Course in Micro- and Nanostructure Technology (optional) - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties subject number 7343 - common information
subject number7343
departmentDepartment of Mathematics and Natural Sciences
ID of group2429 (Group for Physical Chemistry / Microreaction Technology)
subject leaderProf. Dr. Michael Köhler
languageDeutsch
term Wintersemester
previous knowledge and experienceBachelor oder Vordiplom Techn. Physik oder Bachelor oder Vordiplom Mechatronik
learning outcomeDie Studenten lernen wichtige Methoden und Geräte der Dünnschicht- und Mikrostrukturtechnik kennen. Durch praktische Übungen werden sie mit Basisverfahren der Erzeugung kleiner Strukturen und deren mikroskopischer Inspektion vertraut.
contentGrundlagen der Dünnschichttechnik, Bedampfen, Sputterbeschichtung, Grundlagen der Photolithografie, Grundlagen des Ätzens dünner Schichten und des anisotropen Siliziumätzens, lichtmikroskopische Charakterisierung
media of instructionGerätedemonstration, Einweisung in Labortechniken und lithografische Präparationsverfahren, praktische Übungen
literature / referencesMenz/Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Details in major Master Technische Physik 2008
ATTENTION: not offered anymore
subject nameExcursion and Basic Laboratory Course in Micro- and Nanostructure Technology (optional)
examination number2400123
credit points
on-campus program (h)
self-study (h)
Obligationobligatory
examnone
details of the certificate
maximum number of participants
Details in major Master Technische Physik 2011
ATTENTION: not offered anymore
subject nameExcursion and Basic Laboratory Course in Micro- and Nanostructure Technology (optional)
examination number2400123
credit points
on-campus program (h)
self-study (h)
Obligationobligatory elective
examnone
details of the certificate
maximum number of participants