Technische Universität Ilmenau

Exkursion und Grundlagenpraktikum zur Mikro- und Nanostrukturtechnik (fakultativ) - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis. Angaben zum Raum und Zeitpunkt der einzelnen Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem aktuellen Vorlesungsverzeichnis.

Fachinformationen zu Fachnummer 7343 - allgemeine Informationen
Fachnummer7343
FakultätFakultät für Mathematik und Naturwissenschaften
Fachgebietsnummer2429 (Physikalische Chemie/ Mikroreaktionstechnik)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Michael Köhler
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
VorkenntnisseBachelor oder Vordiplom Techn. Physik oder Bachelor oder Vordiplom Mechatronik
LernergebnisseDie Studenten lernen wichtige Methoden und Geräte der Dünnschicht- und Mikrostrukturtechnik kennen. Durch praktische Übungen werden sie mit Basisverfahren der Erzeugung kleiner Strukturen und deren mikroskopischer Inspektion vertraut.
InhaltGrundlagen der Dünnschichttechnik, Bedampfen, Sputterbeschichtung, Grundlagen der Photolithografie, Grundlagen des Ätzens dünner Schichten und des anisotropen Siliziumätzens, lichtmikroskopische Charakterisierung
MedienformenGerätedemonstration, Einweisung in Labortechniken und lithografische Präparationsverfahren, praktische Übungen
LiteraturMenz/Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure
Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

Spezifik im Studiengang Master Technische Physik 2008
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameExkursion und Grundlagenpraktikum zur Mikro- und Nanostrukturtechnik (fakultativ)
Prüfungsnummer2400123
Leistungspunkte
Präsenzstudium (h)
Selbststudium (h)
VerpflichtungPflicht
Abschlusskeiner
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl
Spezifik im Studiengang Master Technische Physik 2011
ACHTUNG: wird nicht mehr angeboten!
FachnameExkursion und Grundlagenpraktikum zur Mikro- und Nanostrukturtechnik (fakultativ)
Prüfungsnummer2400123
Leistungspunkte
Präsenzstudium (h)
Selbststudium (h)
VerpflichtungWahlpflicht
Abschlusskeiner
Details zum Abschluss
max. Teilnehmerzahl

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.