Technische Universität Ilmenau

Micro- and Semiconductor Technology 1 - Modultafeln of TU Ilmenau

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module properties module number 200544 - common information
module number200544
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2142 (Nanotechnology)
module leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
languageDeutsch
term Sommersemester
previous knowledge and experience

Grundkenntnisse in Physik, Chemie und den Funktionsweisen von elektronischen Bauelementen und integrierten Schaltkreisen

learning outcome

Die Studierenden können nach Abschluss der Lehrveranstaltung, bestehend aus Vorlesung und dazu gehörigen Übungen, die Grundlagen für die Einzelprozesse und den physikalisch materialwissenschaftlichen Hintergrund der Herstellung von Halbleiterbauelementen wiedergeben.

Sie sind in der Lage, integrierte Schaltkreise, Sensor- und Mikrosysteme zu beschreiben.

Nach dem Besuch der Vorlesungen sind die Studierenden in der Lage, die Prozessschritte in der Mikro- und Halbleitertechnologie zu bestimmen.

Sie sind in der Lage, die chemischen und materialwissenschaftlichen Grundlagen und deren Anwendbarkeit zu analysieren und zu bewerten.

Sie sind befähigt, evolutionäre Technikprozesse am Beispiel des Halbleitermarktes richtig einzuschätzen.

content

Die Vorlesung gibt eine Einführung in die physikalischen, chemischen und technischen Grundlagen der Einzelprozesse, die bei der Herstellung von Sensoren, Halbleiterbauelementen, integrierten Schaltkreisen, Sensor- und Mikrosystemen Verwendung finden. Die technologischen Verfahren und Abläufe, sowie die Anlagentechnik zur Fertigung von Halbleiterbauelementen und deren Integration in Systeme werden am Beispiel der Siliziumtechnologie und Galliumarsenidtechnologie vermittelt. 1. Einführung in die Halbleitertechnologie: Die Welt der kontrollierten Defekte 2. Einkristallzucht 3. Scheibenherstellung 4. Waferreinigung 5. Epitaxie 6. Dotieren: Legieren und Diffusion 7. Dotieren: Ionenimplantation, Transmutationslegierung 8. Thermische Oxidation 9. Methoden der Schichtabscheidung: Bedampfen 10. Methoden der Schichtabscheidung: CVD 11. Methoden der Schichtabscheidung: Plasma gestützte Prozesse 12. Ätzprozesse: Nasschemisches isotropes und anisotropes Ätzen 13. Ätzprozesse: Trockenchemisches isotropes und anisotropes Ätzen 14. Elemente der Prozeßintegration

media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation

Folien, Powerpointpresentationen, Tafel

literature / references

1. J.D. Plummer, M.D. Deal, P.B. Griffin: Silicon Technology: Fundamentals, Practice and Modelling, Prentice Hall, 2000.
2. U. Hilleringmann: Silizium - Halbleitertechnologie, B.G. Teubner, 1999.
3. D. Widmann, H. Mader, H. Friedrich: Technology of Integrated Circuits, Springer, 2000.
4. I. Ruge, H. Mader: Halbleiter-Technologie, Springer, 1991.
5. U. Hilleringmann: Mikrosystemtechnik auf Silizium, B.G. Teubner, 1995.

6. S. Fransislia, Introduction to Microfabrication, Wiley, 2004.

7. H. Xiao: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, SPIE Press, 2012.

8. S.K. Ghandi: VLSI Fabrication Principles: Silicon and Gallium Arsenide, Wiley, 1994.

9. A.G. Baca, C.I.H. Ashby: Fabrication of GaAs Devices, IEE, 2005.

10. W. Prost, Technologie der III/V-Halbleiter, Springer, 1997.

evaluation of teaching
Details reference subject
module nameMicro- and Semiconductor Technology 1
examination number2100886
credit points5
SWS4 (2 V, 2 Ü, 0 P)
on-campus program (h)45
self-study (h)105
obligationobligatory module
examwritten examination performance, 120 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in degree program Master Wirtschaftsingenieurwesen 2021 (ET)
module nameMicro- and Semiconductor Technology 1
examination number2100886
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
obligationelective module
examwritten examination performance, 120 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants