Technische Universität Ilmenau

Vaccum Technology - Modultafeln of TU Ilmenau

The module lists provide information on the degree programmes offered by the TU Ilmenau.

Please refer to the respective study and examination rules and regulations for the legally binding curricula (Annex Curriculum).

You can find all details on planned lectures and classes in the electronic university catalogue.

Information and guidance on the maintenance of module descriptions by the module officers are provided at Module maintenance.

Please send information on missing or incorrect module descriptions directly to modulkatalog@tu-ilmenau.de.

module properties module number 200549 - common information
module number200549
departmentDepartment of Electrical Engineering and Information Technology
ID of group2142 (Nanotechnology)
module leaderProf. Dr. Heiko Jacobs
languageDeutsch
term Sommersemester
previous knowledge and experience

Experimentalphysik, Grundlagen der Elektronik

learning outcome

Nachdem Studierende die Veranstaltung besucht haben, können sie die Unverzichtbarkeit der Vakuumtechnik anhand konkreter technologischer Prozesse und analytischer Verfahren beschreiben.

Sie können Verfahren der Mikro- und Nanoelektronik in Bezug auf die dafür notwendigen  Vakuumverfahren erklären.

Die Studierenden sind nach Besuch der Lehrveranstaltung in der Lage, die physikalischen Grundlagen und das vermittelte anwendungsorientierte Wissen zur Vakuumerzeugung und -messung, zur Werkstoffauswahl und Apparategestaltung zu klassifizieren.

Die Studierenden kennen die verschiedenen Vakuumbereiche vom Grobvakuum bis hin zum Ultrahochvakuum.

Nach dem Besuch der Vorlesung können die Studierenden die erworbenen Kenntnisse über den Umgang mit und die Bedienung von Vakuumapparaturen, ihre Anwendung und deren Herstellung zusammenfassen.

Nach dem Seminar haben die Studierenden ihre in der Vorlesung erworbenen Kenntnisse anhand ausgewählter Beispiele vertieft.

Nach Beendigung der Veranstaltung können die Studenten die eigenen Leistungen und die ihrer Kommilitonen richtig einschätzen und bewerten.

content
  1. Physikalische Grundlagen der Vakuumtechnik
  2. Vakuumerzeugung
  3. Vakuummessung
  4. Vakuumbauelemente
  5. Konstruktion und Materialien der Vakuumtechnik
media of instruction and technical requirements for education and examination in case of online participation

Vorlesung mit Tafelbild, Tageslichtprojektor und Beamer

literature / references

M. Wutz, H. Adam, W. Walcher

Theorie und Praxis der Vakuumtechnik

4. Auflage

Vieweg & Sohn Braunschweig/Wiesbaden 1988

Ch. Edelmann

Wissensspeicher Vakuumtechnik

Fachbuchverlag Leipzig 1985

J.M. Lafferty

Foundations of Vacuum Science and Technology

John Wiley, New York, Chinchester, Weinheim, 1998

evaluation of teaching
Details reference subject
module nameVaccum Technology
examination number2100891
credit points5
SWS4 (2 V, 2 Ü, 0 P)
on-campus program (h)45
self-study (h)105
obligationobligatory module
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in degree program Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2013
module nameVaccum Technology
examination number2100891
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
obligationobligatory module
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants
Details in degree program Master Werkstoffwissenschaft 2013
module nameVaccum Technology
examination number2100891
credit points5
on-campus program (h)45
self-study (h)105
obligationunknown
examoral examination performance, 30 minutes
details of the certificate
alternative examination performance due to COVID-19 regulations incl. technical requirements
signup details for alternative examinations
maximum number of participants