Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu den Studiengängen der TU Ilmenau.

Die rechtsverbindlichen Studienpläne entnehmen Sie bitte den jeweiligen Studien- und Prüfungsordnungen (Anlage Studienplan).

Alle Angaben zu geplanten Lehrveranstaltungen finden Sie im elektronischen Vorlesungsverzeichnis.

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Modulinformationen zu Modulnummer 200646 - allgemeine Informationen
Modulnummer200646
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer2142 (Nanotechnologie)
Modulverantwortliche(r)Prof. Dr. Heiko Jacobs
SpracheDeutsch
TurnusWintersemester
Vorkenntnisse

Kenntnisse der Vorlesungen "Mikro- und Halbleitertechnologie 1" und "Optoelektronik" sowie Grundkenntnisse in der Experimentalphysik, Quantenmechanik, physikalischen Chemie und Werkstoffwissenschaften.

Lernergebnisse und erworbene KompetenzenDie
Studierenden haben nach der Vorlesung und den dazu gehörenden Übungen ihre Kenntnisse über die Herstellung
optoelektronischer Bauelemente auf die Verwendung nantotechnologischer
Herstellungsprozesse für die Fertigung von nanooptoelektronischen
Bauelementen erweitert und sind fähig technische und
wirtschaftliche Aspekte der Nanotechnologien sowie ihrer Grenzen zu
beurteilen. Sie sind in der Lage Prozeßabläufe für die Herstellung
nanooptoelektronischer
Bauelemente und Systeme zu analysieren und zu entwickeln. Sie sind fähig
zur Systemintegration optoelektronischer Bauelemente unter
Einbeziehung von Spiegeln und Wellenleitern. Sie sind fähig
Größeneffekte von Materialeigenschaften zu analysieren und diese für den
Entwurf und die Fertigung von nanoelektronischen und
nanoptoelektronischen Bauelementen anzuwenden.

Inhalt

Aufbauend auf der Vorlesung "Mikro- und Halbleitertechnologie 1" und "Optoelektronik"werden weiterführende Techniken behandelt, die für die Realisierung von Bauelementen der Optoelektronik notwendig sind, die auf lateral und vertikal strukturierten Gebieten im Nanometerbereich beruhen. In der Lehrveranstaltung werden ausgehend vom Design der Bauelemente die nanotechnologischen Verfahren für ihre Herstellung abgeleitet und im einzelnen behandelt. Neben den deterministischen Strukturierungs- und Prozessierungsprinzipien werden Technologien vermittelt, die auf Selbstformierungs- und Selbstorganisationsprinzipien beruhen. Ein weiterer Schwerpunkt der Vorlesung besteht in der Behandlung von Größeneeffekten

1. Nanooptoelektronische Bauelemente

2. Größeneffekte: physikalisch-chemische, mechanische, elektronische, optische.


3. Deterministische und selbstorganisierende Technologien der Strukturgebung


4. Prinzipien der Selbstorganisation und Selbstformierung in technologischen Prozessen

5. Nanolithographie

6. Nanoätzen


7. Nanoepitaxie


8. Nanoionenimplantation

Medienformen

MS Powerpoint, Overheadfolien, Tafel

Literatur

1. M. Wautelet e.a.: Nanotechnologie, Oldenbourg, 2003.

2. E.L. Wolf: Nanophysik und Nanotechnologie: Eine Einführung in die Konzepte der nanowissenschaften, Wiley-VCH, 2015.

3. M. Kuno: Introductory nanoscience: Physical and Chemical Concepts, Garland Science, 2012.

4. Z. Cui, Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits, Springer, 2009, 348 S.

5. G.F. Cerafolini, Nanoscale Devices: Fabrication, Functionalization, and Assessibility from the Macroscopic World, Springer, 2009.


6. E. Kasper, D.J. Paul: Silicon Quantum Integrated Circuits, Springer, 2005.

7. V.A. Shuchkin, N.N. Ledentsov, D. Bimberg: Epitaxy of Nanostrucutres, Springer, 2003.

8. V.G. Dubrovskii: Nucleation Theory and Growth of Nanostructures, Springer, 2014.

9. Nanolithography: The Art of Fabricating Nanoelectronic and Nanophotonic Devices and Systems, Ed. M. Feldman, Woodhead Publ., 2014.

10. S. Janusonis, Self-formation Theory and Applications, Solid State Phenomena, Vol. Vols. 97-98, 2004.
Lehrevaluation
Spezifik Referenzmodul
ModulnameMikro- und Nanotechnologien für die Optoelektronik
Prüfungsnummer2101021
Leistungspunkte5
SWS4 (2 V, 2 Ü, 0 P)
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)105
VerpflichtungPflichtmodul
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl