Technische Universität Ilmenau

Mikro- und Nanosystemtechnik - Modultafeln der TU Ilmenau

Die Modultafeln sind ein Informationsangebot zu unseren Studiengängen. Rechtlich verbindliche Angaben zum Verlauf des Studiums entnehmen Sie bitte dem jeweiligen Studienplan (Anlage zur Studienordnung). Bitte beachten Sie diesen rechtlichen Hinweis.
Angaben zum Raum und Zeitpunkt von geplanten Lehrveranstaltungen entnehmen Sie bitte dem e-Veranstaltungskalender. Lehrveranstaltungen und Prüfungen, die nicht im e-Veranstaltungskalender abgebildet sind, werden "nach Vereinbarung" geplant. Eine Auflistung der betroffenen Veranstaltungen finden Sie hier: Lehrveranstaltungen, Prüfungen.

Fachinformationen zu Mikro- und Nanosystemtechnik im Studiengang Bachelor Elektrotechnik und Informationstechnik 2008
Fachnummer1456
Prüfungsnummer2100057
FakultätFakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Fachgebietsnummer 2143 (Mikro- und nanoelektronische Systeme)
Fachverantwortliche(r)Prof. Dr. Martin Ziegler
TurnusWintersemester
Spracheenglisch
Leistungspunkte4
Präsenzstudium (h)45
Selbststudium (h)75
VerpflichtungPflicht
Abschlussmündliche Prüfungsleistung, 30 Minuten
Details zum Abschluss
Anmeldemodalitäten für alternative PL oder SL
max. Teilnehmerzahl
Vorkenntnisse

Participation in the course "Micro and nano sensor technology"

Lernergebnisse

Students acquire an overview on basic and background of micro- and nanosystem technology, devices and fabrication technology. They acquire knowledge to understand original literature, to design and use micro devices.

Inhalt
  • Requirements of micro- and nanotechnology;
  • material properties and choice of materials;
  • physical and engineering backgrounds of microsystem technology;
  • fabrication and functionality of miniature sensors or actuators based on selected examples
Medienformen

Overhead projector, beamer, blackboard

Literatur

B. Heimann, W. Gerth, K. Popp: Mechatronik; Hanser Verlag München, 1998;

S. E. Lyschevski: Nano- and micromechanical systems, CRC Press, 2005;

Gerald Gerlach, Wolfram Dötzel, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Hanser, München-Wien 2006

G. Gerlach, W. Dötzel, Introduction to Microsystem Technology, Wiley & Sons, 2008

W. Menz, J. Mohr, O. Paul, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Weinheim, Wiley-VCH, 3. Auflage (2005)

U. Mescheder, Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner, 2. Auflage (2004)

M. Glück, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Wiesbaden, Teubner (2005)

Friedemann Völklein, Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen, Technologien, Anwendungen. Wiesbaden, Vieweg (2006)

Friedemann Völklein, Einführung in die Mikrosystemtechnik : Grundlagen und Praxisbeispiele. Braunschweig, Vieweg (2000)

Werner Karl Schomburg, Introduction to Microsystem Design, Springer, Berlin-Heidelberg 2015

Nam-Trung Nguyen, Mikrofluidik, Teubner, Wiesbaden 2004

Nguyen/Wereley, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Artech House, Boston-London 2002

Lehrevaluation

Pflichtevaluation:

SS 2012 (Fach)

Freiwillige Evaluation:

Hospitation:

 

Informationen und Handreichungen zur Pflege von Modul- und Fachbeschreibungen durch den Modul- oder Fachverantwortlichen finden Sie auf den Infoseiten zum Modulkatalog.