Technische Universität Ilmenau

Nano Metrology - Modultafeln of TU Ilmenau

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subject properties Nano Metrology in major Master Maschinenbau 2009
subject number7424
examination number2300192
department
ID of group 2371 (Production and Precision Measurement Technology)
subject leaderProf. Dr. Eberhard Manske
term Sommersemester
languageDeutsch
credit points2
on-campus program (h)11
self-study (h)49
Obligationobligatory
examwritten examination performance, 45 minutes
details of the certificate
maximum number of participants
previous knowledge and experienceBachelor Technik (GIG)
Mess- und Sensortechnik 2V/1S/1P
learning outcomeDie Studierenden überblicken das Gebiet der dimensionellen Messungen im Nanometerbereich hinsichtlich Aufbau, Funktion und Eigenschaften der Geräte und Verfahren sowie der aktuellen Messmöglichkeiten und der Sicherung einheitlicher Messungen in diesem Bereich der Messtechnik auf nationaler und internationaler Ebene.
Mit der Lehrveranstaltung erwerben die Studierenden zu etwa 60% Fachkompetenz. Die verbleibenden 40% verteilen sich mit variierenden Anteilen auf Methoden-, System- und Sozialkompetenz. Sozialkompetenz erwächst aus praktischen Beispielen in der Vorlesung zur Gesamtproblematik Nanomesstechnik.
contentNanotechnologie / Nanomesstechnik heute und morgen: Wissenschaftlicher Hintergrund und ausgewählte Beispiele zur Nanotechnologie
Techniken für dimensionelle und andere Messungen im Nanometerbereich
Rastertunnelmikroskopie und aus ihr abgeleitete Rastersondenmikroskopie / Konsistenz von Ergebnissen aus aktuellen Maßvergleichen / gegenwärtige Erschließung von 3D-Messungen an Objekten der Mikrotechnik / Mikro-Tomographie.
Rasterelektronenmikroskopie / ausgewählte Anwendungen für dimensionelle Messungen /„metrologische Rasterelektronenmikroskope“
Röntgenreflektometrie /Anwendungen auf Schichten im Nanometerbereich
media of instruction*.ppt-Präsentation
Lehrender stellt Präsentation elektronisch zur Verfügung (z.B. CD)
literature / referencesLiteratur wird während der Vorlesung genannt / die Präsentation enthält Quellennachweise
tm - Technisches Messen Vol. 76, No. 5, 05/2009
International Conference on Precision Measurement (ICPM2008) Part 1:
Nanomeasuring and Nanopositioning Technology
Nanoscale Calibration, Standards and Methods - Dimensional and Related
Measurements in the Micro- and Nanometer Range; Wiley-VHC Verlag GmbH
& Co. KGaA, Weinheim, Edition: Wilkening, Günter; Koenders, Ludger; 2005
ISBN 3-527-40502-X
K. Hasche, W. Mirande, G. Wilkening (Eds.)2001PTB-F-39: Proceedings of the
4th Seminar on Quantitative Microscopy QM 2000 Wirtschaftsverlag NW
ISBN 3-89701-503-X
evaluation of teaching

Pflichtevaluation:

Freiwillige Evaluation:

Hospitation: